Бързо термично обработване
Оборудване RTP за сложни полупроводници, SlC, LED и MEMS
* Растеж на оксид, нитрид
* Бърз сплавен контакт Ohmic
* Анемарене на сплав силицид
* Оксидация рефлюкс
* Процес с галиев арсенيد
* Други процеси на бързо термичен обработване
Пълноавтоматично двойно камерно RTP
* Съвместимо с 6-8 инчов WAFFER
* Максималната температура може да достигне 1250°c
* Стабилна температурна воспроизводимост
* Пълноавтоматично двойно камерно проектиране за увеличение на производствената капацитет
* Еднородност на свръхвисокотемпературното поле
* Изпълнява изискванията за масово производство на SlC процес
Сemi-автоматично RTP
* Нагрев с инфрачервена халогенна лампа, охлаждане чрез въздушно охлаждане;
* Регулиране на температурата чрез PlD за мощността на лампите, което може да контролира точно повишаването на температурата, осигурявайки добри репродуктивност и температурна равномерност;
* Входът на материалът е поставен върху повърхността на WAFER, за да се избегне производството на студени точки по време на процеса на анелация и да се осигури добра температурна равномерност на продукта;
* Могат да бъдат избрани както атмосферни, така и вакуумни методи за обработка, с предварителна обработка и очистка на корпуса;
* Две групи процесни газове са стандартни и могат да бъдат разширени до шест групи процесни газове;
* Максималният размер на измерим образец от едно kristalen силиций е 12 инча (300x300MM);
* Три сигурни мерки - защита при безопасна температура, разрешение за отваряне на регулатора за температура и аварийна спирания на оборудването са напълно реализирани, за да се осигури безопасността на инструмента;
Десктопен RTP
* Нагрев с инфрачервена халогенна лампа, охлаждане чрез въздушно охлаждане;
* Регулиране на температурата чрез PlD за мощността на лампите, което може да контролира точно повишаването на температурата, осигурявайки добри репродуктивност и температурна равномерност;
* Входът на материалът е поставен върху повърхността на WAFER, за да се избегне производството на студени точки по време на процеса на анелация и да се осигури добра температурна равномерност на продукта;
* Могат да бъдат избрани както атмосферни, така и вакуумни методи за обработка, с предварителна обработка и очистка на корпуса;
* Две групи процесни газове са стандартни и могат да бъдат разширени до шест групи процесни газове;
* Максималният размер на измерим образец от едно kristalen силиций е 12 инча (300x300MM);
* Три сигурни мерки - защита при безопасна температура, разрешение за отваряне на регулатора за температура и аварийна спирания на оборудването са напълно реализирани, за да се осигури безопасността на инструмента;
Имаме 16 години опит в продажбата на оборудване и можем да ви предоставим всеобхватно решение за оборудването за линията IC Package!
Търсите ли надеждно оборудване с RTP за производствените процедури на вашите сложни полупроводникови СlC LED MEMS? Не търсете повече отколкото Minder-Hightech.
Похваства изключителни способности за бързо процесиране, което го прави идеален за създаване на първенски елементи, полупроводници, SlC MEMS устройства и LEDs. Вместе с технологията на Minder-Hightech ви е дадена възможността да постигнете точна температура, стабилно затопляне и ниска проблемна концентрация в продуктите или услугите си.
Включва потребителски интерфейс, който е лесен за употреба, правейки го подходящ за шофьори на всички нива на умения да използват и да навигират. Продвинатите му автоматизирани функции ви позволяват да оптимизирате производствените си процеси, намалявайки нуждата от ръчно обслужване и работа, което ви спестява пари и време.
Важността се разбира чрез нашия отбор за надеждност на оборудването. Затова нашите устройства RTP са разработени заедно с елементи от високо качество и с цел да притежават устойчивост при интензивно използване, без дневни проблеми с ефективността или дори функциите. Нашата екип също предоставя регуларна помощ и услуги за поддръжка, за да гарантираме продължителността на вашето оборудване.
Дали сте свързани с производството на сложни полупроводници, производство на LED или развитие на системи MEMS, оборудването RTP от Minder-Hightech предлага непревзходна ефективност и точност. Защо тогава да изхвърляте време? Обновете производствения си процес до следващия ниво, като закупите оборудване RTP от Minder-Hightech още днес.
Ако ви трябва висококачествено обзавеждане RTP, за да повишите ефективността и ефективността на вашия производствен процес при изработка на сложни полупроводници SlC LED MEMS, възползвайте се от Minder-Hightech. Нашата напреднала технология, надежното оборудване и отличната клиентска поддръжка ни правят предпочитанията за бизнеса по целия свят.
Не чакайте повече да доведете вашите производствени процеси на следващия ниво.
Поръчайте обзавеждане RTP от Minder-Hightech още днес.