Сemi-автоматично RTP Бързо термично обработване за семикондукторски кристали SlC LED MEMS , China Сemi-автоматично RTP Бързо термично обработване за семикондукторски кристали SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

Бързо термично обработване

Осигурявайте надеждно RTP оборудване за сложни полупроводници, SlC, LED и MEMS

Характеристика

* Нагрев с инфрачервена халогенна лампа, охлаждане чрез въздушно охлаждане;
* Регулиране на температурата чрез PlD за мощността на лампите, което може да контролира точно повишаването на температурата, осигурявайки добри репродуктивност и температурна равномерност;
* Входът на материалът е поставен върху повърхността на WAFER, за да се избегне производството на студени точки по време на процеса на анелация и да се осигури добра температурна равномерност на продукта;
* Могат да бъдат избрани както атмосферни, така и вакуумни методи за обработка, с предварителна обработка и очистка на корпуса;
* Две групи процесни газове са стандартни и могат да бъдат разширени до шест групи процесни газове;
* Максималният размер на измерим образец от едно kristalen силиций е 12 инча (300x300MM);
* Три сигурни мерки - защита при безопасна температура, разрешение за отваряне на регулатора за температура и аварийна спирания на оборудването са напълно реализирани, за да се осигури безопасността на инструмента;

Доклад от теста

Съвпадение на кривите от 20-ти степен

20 криви за температурен контрол при 850 ℃

Съвпадение на 20 средни температурни криви

Температурен контрол при 1250 ℃

Контрол на температурата RTP при процес от 1000 ℃

Процес на 960 ℃, контролиран от инфрачервен пирометър

Данни за процеса LED

RTD Wafer е температурен сензор, който използва специални технологии за обработка, за да вгради температурни сензори (RTDs) на определени места върху повърхнината на таблетка, позволявайки реално-времево измерване на температурата на повърхнината на таблетката.

Реални температурни измервания на определени места върху таблетката и общото разпределение на температурата на таблетката могат да бъдат получени чрез RTD Wafer; Той може също да се използва за непрекъснато наблюдение на преходни температурни промени на таблетките по време на процеса на термична обработка.

Спецификация

Упаковка и доставка

Фирмен профил

Ние имаме 16 години опит в продажбата на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за оборудването на линията за упаковка на полупроводници от Китай!