Полупроводниково промишлено оборудване MDLB-MC200 Photomask cleaner , Китай Полупроводниково промишлено оборудване MDLB-MC200 Photomask cleaner Производители, доставчици, фабрика

MDLB-MC200

Препарат за почистване на фотомаска

Почистваща единица:

Почистващата камера е обработена с устойчиви на корозия материали, които имат гладка повърхност и се почистват лесно. В долната част на вътрешната кухина има отвор за изхвърляне на отпадъци, който използва гравитацията, за да позволи на отпадъчната течност да бъде изхвърлена в тръбопровода за изхвърляне на отпадъци от завода. Вътре в кухината има смукателен отвор, който може своевременно да извлече атмосферата от кухината. Оборудван с 3 автоматични въртящи се рамена, той може да постигне автоматично почистване.

Таблица с конфигурационни параметри:

Не.	Проект	Характеристики	Забележки
1	Преглед на оборудването	Име на устройството: Photomask Cleaner
		Модел на оборудване: MDLB-MC200
		Габаритни размери (приблизително): 1300 мм (Ш) * 1000 мм (Д) * 1950 мм (В)
		Тегло на цялата машина (приблизително): 300 кг
		Височина на операционната маса: 900 ± 50 мм
		Спецификации на размера на субстрата: подходящ за 2/4/5/6/8 инча квадратни маски
		Поток на процеса: ръчно поставяне на вафла → почистване (четка, почистващ разтвор → вода под високо налягане → мегазонна вода → дейонизирана вода → изсушаване на азотен газ) → ръчно отстраняване на вафла
		Тип оборудване: полуавтоматично, ръчно товарене и разтоварване
2	Конструкция на оборудването	Корпус: неръждаема стомана, гладка, устойчива на корозия, лесна за почистване
		Почистваща камера: PP, гладка, устойчива на корозия, лесна за почистване
		Тръбопровод: Използва се съвпадащ тръбопровод PU/PFA
		Работно осветление: антикорозионно жълто осветление
		Стил на отваряне на врата: Двойна врата с функция за аларма при отваряне на врата
		Сензорен екран: 10-инчов пълноцветен сензорен екран * 1
		FFU: Клас 100
		Непропусклива долна опора: налична
3	Високо прецизен серво мотор	Количество: 1
		Скорост: -3000~3000rpm	Празен товар
		Максимално ускорение на въртене на шпиндела: 3000rpm/s	Празен товар
		Точност на скоростта: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Разделителна способност на скоростта: 1rpm
4	Автоматично люлеещо се рамо	Количество: 3
4	Автоматично люлеещо се рамо	Скорост на въртящото се рамо: 1~30 °/S
5	Почистване единица	Почистващо въртящо се рамо: 1 канал дейонизирана вода, 1 канал азотен газ Megasonic ръка: 1 Megasonic, 1 вода под високо налягане Рамо на четката: 1 четка, 1 вода, 1 почистващ разтвор
		Метод на почистване: автоматично почистване
		Функция за засмукване на дейонизирана вода: налична
		Обратно промиване (дейонизирана вода): 1 път
		Метод на подаване: Почистващ разтвор: Мембранна помпа Дейонизирана вода: доставя се директно от фабриката
		Резервоар под налягане с детекция на нивото на течността
6	Четка за четка	Количество: 1 (с функция за самопочистване)
		Скорост: до 1000rpm, регулируема скорост
		Височината се регулира ръчно
7	Заредете тавата	Количество: 5
		Материал: PPS+неръждаема стомана
		Размер: Подходящ за 2/4/5/6/8 инча квадратни маски
		Метод на фиксиране на субстрата: Метод на фиксиране с нокти
8	Система за контрол	Система за управление: използване на PLC контрол
		Програма: 100 групи, всяка група, състояща се от 100 стъпки, с максимално време за отделна стъпка от 3000.0 секунди Резолюция: 0.1S
		Програмата може да бъде записана, извикана, модифицирана и изтрита
		Задайте разрешения за криптиране: съответно за оператори на устройства, техници, администратори и производители
		Тип сигнална кула: червена, жълта, зелена 3 цвята