Оборудване за полупроводников индустрия MDLB-MC200 Фотомаска чистач

Не.

Проект

Спецификации

Забележки

1

Общ преглед на оборудването

Име на устройството: Чистач за фотомаски

Модел на оборудването: MDLB-MC200

Общи размери (приблизително): 1300мм (Ш) * 1000мм (Д) * 1950мм (В)

Тегло на цялата машина (приблизително): 300КГ

Височина на операционния масив: 900 ± 50мм

Нормативи за размера на субстрата: подходящи за квадратни маски с размер 2/4/5/6/8 инча

Процесен поток: ръчно поставяне на пластината → чистване (щетка, чистеща течност → високоусоред водопроводна вода → мегасонова вода → деионизирана вода → сушене с азотен газ) → ръчно премахване на пластината

Тип оборудване: полуавтоматично, ръчно зареждане и изнасяне

2

Конструкция на оборудването

Корпус: нержавеща оцел, гладка, корозионно устойчива, лесно за чистене

Чистяща камера: ПП, гладка, корозионно устойчива, лесно за чистене

Тръбопровод: се използва тръбопровод от ПУ/ПФА

Осветление при работа: противокорозионно жълто осветление

Начин на отваряне на вратата: Двойна врата с функция за сигнализация при отваряне

Тач скрийн: 10-ти инчов пълен цвятен тач скрийн * 1

FFU: Клас 100

Поддържка с преванително дъно: налична

3

Сервомотор с висока прецизност

Количество: 1

Скорост: -3000~3000об/мин

Празен ход

Максимално ускорение на врътене на спирала: 3000об/с

Празен ход

Точност на скоростта: ± 1об/мин (50об/мин~3000об/мин)

Резолюция на скоростта: 1об/мин

4

Автоматична разкачваща се ръка

Количество: 3

Скорост на разкачващата се ръка: 1~30 °/с

5

Единица за чистене

Чистяща ротационна рамка: 1 канал дезioniрана вода, 1 канал азотен газ

Мегасонна рамка: 1 мегасонно, 1 високотоณженска вода

Рамка за щетки: 1 щетка, 1 вода, 1 чистеще средство

Метод за чистене: автоматично чистене

Функция за изсмукване на дезioniрана вода: налична

Обратно промиване (дезioniрана вода): 1 път

Метод на доставка: Чистещо средство: Диафрагменен насос

Дезioniрана вода: доставяне директно от фабриката

Цистерна с детектор на нивото на течност

6

Щетка

Количество: 1 (с функция за самозачистване)

Скорост: до 1000об/мин, регулируема скорост

Височината се регулира ръчно

7

Подавателна тарелка

Количество: 5

Материал: PPS+нержавееща стомана

Големина: Подходяща за квадратни маски с размер 2/4/5/6/8 инча

Метод за закрепяване на субстрата: Метод с грифи за закрепяване

8

Контролна система

Контролнa система: Използва PLC контрол

Програма: 100 групи, всяка група съдържа 100 стъпки, с максимално време на една стъпка от 3000.0 секунди

Разрешение: 0.1S

Програмата може да бъде запазена, извикана, променена и изтрита

Задаване на права за шифроване: за оператори на устройството, техници, администратори и производители съответно

Тип сигнален тур: червен, жълт, зелен 3 цвета