Индустрия на полупроводниците RIE PLASMA PR removal машина Photoresist Residual Removal , China Индустрия на полупроводниците RIE PLASMA PR removal машина Photoresist Residual Removal Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продукта

RIE PLASMA Промивка на фотоуправляемо покритие

Етчинг на силени карбид
Повърхностна чистка след етчинг
DESCUM
Твърда маска, сухо премахване
Етчинг на силен оксид или силен нитрид
Премахване на оптичното съпротивление между медии
Премахване на повърхностни остатъци

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Процес

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Предимство:

Основно Преимущество

Висока степен на отстраняване на липкавината: плазма с висока плътност, бързо отстраняване на липкавината
Стабилност: Following плазмено обработване, висока воспроизводимост
Отдалечено плазма: Отдалечена плазма, ниски ионни повреди за таласа
Програмно обеспечение: Самостоятелно разработване на програмното осигурение, интуитивна процесна анимация, детайлирани данни и записи
Еднородност: Плазмата може да контролира налягането и температурата чрез батерфлай клап
Фактор за безопасност: Ниската плазма намалява повредите при изпразняването на продукта.
Служба след продажбата: Бързо реагиране и достатъчен запас
Контрол на прах: Изпълнява изискванията на клиента.
Ядрена технология: С почти 40% от членовете на екипа за РИ

Касетова платформа (MD-ST 6100/620)

1. 4 Таласни преносачи
2. Висока съвместимост: гъвкавостта в избора на размера на таласа води до висока ефективност на разходите и решенията.
3. Вакуумна камера за пренос с висока стабилност:
Дозрелата и стабилната вакуумна передача е успешно приложена на пазара през годините и е добре приета от клиентите.
Дизайн с ротационен диск, компактно пространство, значително намалява рискът от ЧАСТИЦИ.
4. Човешки интерфејс за операция с програмно обеспечение:
Интуитивен човешки интерфејс за операция с програмно осигуряване, реално време за мониторинг на състоянието на машината.
Пълен функционалност за предупреждения и защита срещу глупости, за да се избегне грешно управление.
Могъщ функционалност за експорт на данни, записи за различни процесни параметри и експорт на производствени записи за продукти.

Робот

1. Единичен дизайн за двойен талас за подемане и поставяне, който дава висока продуктивност.
2. Подобряване на ефективността на пространството.

Отоплителна плоча

1. Контрол на температурата с висока прецизност на плоча за wafer
Плоча за отопляне на wafer от стаяна температура до 250°C, прецизност при контрола на температурата ±1°C
Плочата за отопляне на wafer е калибрирана с професионални инструменти, а равномерността е в рамките на ±3°C, което гарантира равномерното премахване на лепило
2. Обработка на единична камера с два wafer
Дизайн на единична камера с два wafer;
Независим дизайн на изпълнение на мощността за всеки wafer, който гарантира ефекта от премахване на PR по окръжността;
Под предпоставката за поддържане на ефективността на UPH, намалява се производствената цена. Добра съвместимост
3. Производствена капацитет: реакционна камера с двупосочен дизайн, висока производителност.

Спецификация

Източник на плазма			RF
Мощност	ICP	_
Мощност		BIAS	1000W(option)
Област на приложимост			4~8 инча
Брой на отделните обработвани кръглици			1
Размери на външният вид			850mmx900mmx1850mm
Контрол на системата			ПЛК
Ниво на автоматизация			Ръководство

Хардуерна способност
Време на работа/Достъпно време	≧95%
Средно време за очистване (MTTC)	≦6 часа
Средно време за ремонт (MTTR)	≦4 часа
Средно време между повреди (MTBF)	≧350 часа
Средно време между помощ (MTBA)	≧24 часа
Среден брой на плочите между повредите (MWBB)	≦1 от 10 000 плачки
Контрол на топливната плоча	50-250°

Доклад от теста

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Изглед от фабриката

Упаковка и доставка

Фирмен профил

Ние имаме 16 години опит в продажбата на оборудване. Можем да ви предоставим всеобхватно решение за оборудването на линията за упаковка на полупроводници от Китай!