Проект |
съдържание |
Вид на продукта |
6",8",12" вафла, 2.5D/3D опаковка |
2D инспекция Точки |
Чужди предмети, остатъчно лепило, частици, драскотини, пукнатини, замърсяване, CP отклонение, прекомерни следи от игли и др. |
2D метрология |
Диаметър на изпъкналост, координати на иглата, RDL и TSV метрология и др. |
Проект за 3D инспекция |
Височина на изпъкналост, копланалност на изпъкналост |
Касета и метод на предаване |
8"SMIF, 12" FOUP или комбинация |
Обектив и разделителна способност |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
Прецизност |
0.55 um/пиксел |
По избор и персонализирани |
Двустранен OCR, 3D модул, поддържан от E84 |
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени