Проект
|
съдържание
|
Вид на продукта
|
6",8",12" вафла, 2.5D/3D опаковка
|
2D инспекция
Точки |
Чужди предмети, остатъчно лепило, частици, драскотини, пукнатини, замърсяване, CP отклонение, прекомерни следи от игли и др.
|
2D метрология
|
Диаметър на изпъкналост, координати на иглата, RDL и TSV метрология и др.
|
Проект за 3D инспекция
|
Височина на изпъкналост, копланалност на изпъкналост
|
Касета и метод на предаване
|
8"SMIF, 12" FOUP или комбинация
|
Обектив и разделителна способност
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
Прецизност
|
0.55 um/пиксел
|
По избор и персонализирани
|
Двустранен OCR, 3D модул, поддържан от E84
|
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени