Оборудване за производство на полупроводников субстрат Напълно автоматична машина за почистване на пластини с един чип Скрубер за пластини, Китай Оборудване за производство на полупроводникови субстрати на пластини Напълно автоматична машина за почистване на пластини с един чип Производители, доставчици, фабрика

Описание на продукта

Напълно автоматична машина за почистване на вафли с един чип Скрубер за вафли

Елементи на машината

Единична кухина, две кухини и четири кухини
Силна способност за процес, способна да поддържа приложения като Wafer Start и почистване на процеса
Добра съгласуваност на междучиповата технология на оборудването

Приложни полета

Отстраняване на повърхностни частици от 4-8 инчови вафли на основата на силиций и съединения

Технически параметри

4-инчова, 6-инчова, 8-инчова кухина на четката
Скорост на центрофугата до 4000RPM
Камера за четка с двойно рамо, предлага се в методи за почистване с четка, AS, JET, Megasonics
Може да поддържа функция за течно почистване

продукт полупроводников субстрат оборудване за производство на пластини напълно автоматична машина за почистване на пластини с единичен чип скрубер за пластини-51

LoadPort единица, зареждаща единица

LoadPort е зареждащата единица на това устройство

Възможност за картографиране на вафли
Оборудван с разпознаване на слайдове с вафли

Трансферен робот

Робот с двойно острие, по избор с остриета с вакуум или тип тава.

Устройство за подравняване и обръщане

Може да подравнява и локализира плоски ръбове
Вафлата може да се обърне, за да изтърка кристала обратно

Четкащ агрегат

Брой четкащи рамена * 2
Дръжка за пластини: скоба за патронник или тип засмукване
Режими на почистване с четка, AS, JET, Megasonics, поддържащи фармацевтично почистване

1. Поддържа едновременно въвеждане и извеждане на вафли, както и A input и B output режими
2. Може да поддържа четкане на предната част на камера A и задната част на камера B
3. Може да поддържа двукамерно паралелно почистване

Описание на четката

Както е показано на фигурата
Вафла, фиксирана върху Spinner

Arm1&Arm2 могат да се използват заедно с различни методи за четкане описано по-рано за почистване на вафли.

След почистване Spinner се върти с висока скорост, за да центрофугира и изсуши вафлата

Устройство за подравняване и обръщане

Wafer може да се използва за жилищни цели и за изравняване

Вафлата може да се обръща

Размер на оборудването: 160x150x220 (mm)
Методи на товарене и разтоварване: еднакъв вход и същия изход & A in и B out
Брой четкащи модули: 2
Режими на четкане: четка, AS, JET, методи за почистване на Megasonics, поддържащо фармацевтично почистване

Опаковане и доставка

Профил на компанията

Често задавани

1. За цената:
Всички наши цени са конкурентни и по договаряне. Цената варира в зависимост от конфигурацията и сложността на персонализиране на вашето устройство.

2. За пробата:
Можем да предоставим услуги за производство на проби за вас, но може да предоставите някои такси.

3. Относно плащането:
След като планът бъде потвърден, първо трябва да ни платите депозит и фабриката ще започне да подготвя стоките. След като
оборудването е готово и вие плащате остатъка, ние ще го изпратим.

4. Относно доставката:
След като производството на оборудването приключи, ние ще ви изпратим видеозаписа за приемане и можете също да дойдете на обекта, за да инспектирате оборудването.

5. Инсталиране и отстраняване на грешки:
След като оборудването пристигне във вашата фабрика, можем да изпратим инженери за инсталиране и отстраняване на грешки в оборудването. Ние ще ви предоставим отделна оферта за тази такса за услугата.

6. Относно гаранцията:
Нашата техника е с 12 месеца гаранционен срок. След гаранционния период, ако някои части са повредени и трябва да бъдат сменени, ние ще таксуваме само себестойността.