Вакуумна микроволнова плазмена машина за чистене Плазмено обработка на повърхности Решение за упаковане на семикондуктори IC TO package , China Вакуумна микроволнова плазмена машина за чистене Плазмено обработка на повърхности Решение за упаковане на семикондуктори IC TO package Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание на продуктите

Решение за упаковка на семикондуктори Микроволнов Плазмен Очистител

SPV-100MWR е система с ниско напрежение за микроволнова плазмена чистка на полупроводници. Чрез прилагане на микровълни с честота 2,45GHz към прозореца в стената на вакуумната камера се генерират големи количества непрекъснато Плазма и чипът се чисти чрез влизането в камерата.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

Технически параметри

Вакуумен плазмен хост
Размер на оборудването	1230X1800X1100mm (широчина x височина x дълбочина)
Тегло	450kg
Мощност на търсенето	AC380V, 50/60Hz, 5-жил, 30A
Спецификации на плазмен генератор
Пълнител за микровълнова енергия	Мощност	0~1250W
		Честота	2.45GHz
Вакуумна система
Материал	Алюминиев сплав (по желание камера от неръжавеща оцел)
Дебелина	25mm
Вътрешни размери на каверната	480mmX470mmX480mm
Работни пространства	6 магазинни секции
ECR	Слотовият магазин осигурява подобрено ECR ефект при обработката
Възможности за плазма
Възможности за обработка	35микронов Разстояние 40μм Вдигнала се част 15X15mm Максимален Размер на Чипа