Технически параметър | Режим на измерване | PSI/VSI/супер дълбочина на рязкост/ярко поле |
Единично зрително поле на измерване (20× обектив) | 500*350μm (автоматично зашиване) | |
Регулиране на ъгъла | ±12° ръчно | |
Регулиране на Z-ос | 20 мм електрически + 50 мм ръчен (механизъм за грубо и фино регулиране) | |
Обхват на надлъжно сканиране | 0-10mm | |
Надлъжна разделителна способност | <0.2nm | |
Повторяемост на измерване на надлъжна грапавост | 0.01 nm (PSI режим) | |
грешка при индикация на височината на стъпалото измерване | <0.75% (VSI режим) | |
Странична резолюция: @550nm | 0.69 μm (20× обектив) | |
Измерима отражателна способност на пробата | % 0.1 100% | |
Време за измерване | <5 s (PSI режим) | |
Функция за анализ | Функция за анализ | 3D измерване на височина, 3D анализ на грапавостта, 2D измерване на размери |
Извеждане на 3D данни | Данни за 3D облак от точки, данни за изображения в сива скала, персонализиран отчет |
Обективно увеличение | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Числова бленда | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Оптична разделителна способност @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Дълбочина на фокусиране (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Работно разстояние (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Авторско право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всички права запазени