Технически параметър |
Режим на измерване |
ПСИ/ВСИ/супер дълбочина на фокуса/ярко поле |
Единично поле за измерване (обективен линз 20×) |
500*350μm (автоматично сшиване) |
|
Настройка на ъгъла |
±12° ръчно |
|
Настройка по ос Z |
20мм електрически + 50мм ръчен (механизъм за груба и точна настройка) |
|
Лонжитудинален диапазон на сканиране |
0-10 мм |
|
Лонжитудинална резолюция |
<0.2nm |
|
Повторяемост на измерването на продължителната грубина |
0.01nm (режим PSI) |
|
грешка на индикацията при измерване на стъпка измерване |
<0.75% (режим VSI) |
|
Поперечна разрешавща способност: @550nm |
0.69μm (обектен луп 20×) |
|
Измерима отражателност на пробата |
0.1%-100% |
|
Времето на измерване |
<5с (режим PSI) |
|
Функция за анализ |
Функция за анализ |
измерване на височина в 3D, анализ на грубост в 3D, измерване на размери в 2D |
изходни данни в 3D |
данни за облак от точки в 3D, данни за сивомачов образ, персонализиран доклад |
Объективно увеличение |
2.5x |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Числова апертура |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Оптичен разрешащ спообnost @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Глъбочина на фокуса (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Работно разстояние (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved