Решение за ултразвуков сканиращ микроскоп за полупроводниковата индустрия

Време: 2025-02-27

Принцип на ултразвуково изследване

Ултразвуковият преобразувател генерира ултразвуков импулс, който достига до DUT през свързващата среда (вода).

Поради разликата в акустичния импеданс, ултразвуковата вълна се отразява на интерфейса на различни материали.

Ултразвуковият преобразувател приема отразеното ехо и го преобразува в електрически сигнали.

Компютърът обработва електрическия сигнал и показва форма на вълната или изображение.

Форма за сканиране

Сканиране: форма на вълната в определена точка;

Хоризонталната ос показва времето, когато се появява формата на вълната;

Вертикалната ос показва амплитудата на формата на вълната.

C сканиране: сканиране на напречно сечение;

Хоризонталната и вертикалната ос показват физическите размери;

Цветът показва амплитудата на формата на вълната.

B сканиране: сканиране на надлъжно напречно сечение;

Хоризонталната ос показва физическите размери;

Вертикалната ос показва времето, когато се появява формата на вълната;

Цветът показва амплитудата и фазата на формата на вълната

Многослойно сканиране: многослойното C сканиране се извършва в посока на дълбочина на пробата.

Сканиране на предаване: приемниците се добавят към дъното на пробата, за да събират предаваните звукови вълни за генериране на изображения.

Предимства и ограничения на откриването

Предимства:

1. Ултразвуковото откриване е приложимо за широка гама от материали, включително метали, неметали и композитни материали;

2. Може да проникне в повечето материали;

3. Много е чувствителен към промени в интерфейса;

4. Безвреден е за човешкото тяло и околната среда.

Ограничения:

1. Изборът на форма на вълната е относително сложен;

2. Формата на пробата влияе върху ефекта на откриване;

3. Позицията и формата на дефекта имат определено влияние върху резултата от детекцията;

4. Материалът и размерът на зърната на пробата имат голямо влияние върху откриването.

Проверка на качеството на заваряване по време на процеса на зареждане на пластини

Мониторинг по време на стартиране на машината за зареждане на пластини и процес на отстраняване на грешки за интуитивно откриване на аномалии в различни параметри и състояния на оборудването.

Височина и ъгъл на смукателната глава;

Окисление и температура на спойката;

Материал на оловната рамка и материал на чипа

Проверка на качеството на заваряване по време на зареждане на чипове

Мониторингът по време на стартирането и отстраняването на грешки на машината за зареждане на чипове може интуитивно да открие аномалии в различни параметри и състояния на оборудването

Височина и ъгъл на смукателната глава;

Окисление и температура на спойката;

Материал на оловната рамка и чип

Празнините в процеса на заваряване на чипове ще причинят недостатъчно разсейване на топлината по време на използване на устройството, което ще повлияе на неговия експлоатационен живот и надеждност. Използвайки ултразвукови методи за изпитване, дефектите на заваръчните празнини могат да бъдат бързо и ефективно идентифицирани.


Празнини при заваряване	Деформиране на силициеви пластини	Чипс за хляб	Пукнатини в силиконовите пластини