Systém reaktivního iontového leptání
Profesionální poskytování přizpůsobených řešení pro zákazníky
Dvoukomorové přizpůsobení RIE (Cl₂).
V únoru 2024 jsme obdrželi požadavek od zákazníka na 100mm wafer proces Chlor.
To je pro nás zajímavá aplikace, protože požadovaný procesní plyn obsahuje toxické plyny Cl2 a BCl3. Musíme vylepšit všechny konfigurace stroje, abychom se vyhnuli bezpečnostním problémům, a speciálně navrženou dvoukomorovou strukturu procesní komory a přenosové komory, abychom dokonale chránili operátora při splnění procesních požadavků.
Po cca 5 měsících návrhu a výroby jsme provedli vícenásobné testy vzorků a výrobní simulace v interní laboratoři společnosti a po schválení zákazníkem jsme zařízení rychle dodali.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Všechna práva vyhrazena
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
