Velikost waferu
|
4”~ 8” vora
|
Hrubost voru
|
100~750 mikron
|
Typ voru
|
Si, SiC, GaN nebo jiné materiály
|
Typ fólie
|
Modrá folie, UV folie
Šířka: 230 ~ 300 mm Délka: 100 m Tloušťka: 0,05 ~ 0,2 mm |
Nosný prstenec pro vodivky
|
6”, 8” DISCO
|
Způsob nahrávání a odebírání
|
Ruční umístění a odebrání vodivku/prstence
|
Přesnost pozicování folie
|
±0,5 mm
Standardní desky pro křemíkové destičky o průměru 6” a 8” |
Vakuová pumpa
|
Minder-Hightech
|
Antistatická kontrola
|
Deionizační větrák
|
Ovládací jednotka
|
Na základě PLC řízení, s dotykovým obrazovkou 10”
|
Ochrana bezpečnosti
|
Vybaveno ochrannou světelnou bariérou a tlačítkem nouzového zastavení
|
Napětí zdroje elektrické energie
|
Jednofázové AC 220V, 16A
|
Stlačený vzduch
|
0,45~0,6MPa, průtok 70L/min
|
Krabice stroje
|
Bílá plastově nanesená kovová krabice
|
Objem
|
850mm (šířka)*1750mm (hloubka)*1970mm (výška)
|
Čistá hmotnost
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved