Automatic cmp post clean , Čína Automatic cmp post clean Výrobci, dodavatelé, továrna- Guangzhou minder-hightech co., ltd.

popis produktu

Cleaning Equipment after Wafer Chemical Mechanical Polishing

CMP Post Chean

Vlastnosti stroje

Strong process capability
Dual chamber brushing, with a wide range of process applicability
The equipment occupies a small area, with dimensions of 2200 * 800 * 2200 (mm)

Pole aplikací

6-8 inch CMP after brushing
Cleaning after grinding SIC or other substrates

Technické parametry

Cleaning after 4-inch and 6-inch CMP
Dual chamber design, independent chamber operation Wet in and dry out or dry in and dry out
High speed spin dry SRD

LoadPort jednotka, nakládací jednotka

LoadPort je zaváděcí jednotka tohoto zařízení

Wet Cassette feeding
Has spray moisturizing function

Brush unit, Wafer cleaning unit

Dual chamber unit, capable of supporting two different cleaning solutions
The brushing position can be adjusted according to the recipeBelt Conveyor

SRD unit, Wafer drying unit

Wafer clamp type spin drying, with a maximum speed of 4000RPM
Can perform AS cleaning on wafer surface and spray DIW

UNLOAD unit, cutting unit

The UnLoad unit has an independent FFU to ensure the cleanliness of wafer output

Dopravník

Wet area is belt conveyor

Dry area for Robot teleportation

Popis kartáčové jednotky

As shown in the left figure, the brush unit of this device consists of two brushing units, namely BU1 BU2.

The brush pressure of each unit can be adjusted separately (as specified in the recipe), and each brush blade unit can be washed with different chemical cleaning solutions separately.

The brush of the machine adopts PVA brush, which is a commonly used type in the market.
The transmission between cavities is belt conveyor. There is a DIW RINSE inside the cavity

SRD unit

The SRD unit is equipped with a clamping CHUCK and an AS ARM, which can further physically clean and spin dry the wafer surface.

Specifikace

Velikost zařízení:	2200 x 800 * 2200 (mm)
Loading and unloading methods	dry in/wet in/dry out
Number of brushing units	2
Number of SRD units	1
Způsob dopravy	Wet zone belt transport, dry zone robot transport
The size of the equipment with a brushing chamber of 1 is 1850 * 800 * 2200

Balení a dodání

Profil společnosti

Nejčastější dotazy

1. O ceně:
Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a obchodovatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.

2. O ukázce:
Můžeme vám poskytnout ukázkové produkční služby, ale můžete poskytnout určité poplatky.

3. O platbě:
Po potvrzení plánu nám musíte nejprve zaplatit zálohu a továrna začne připravovat zboží. Po
zařízení je připraveno a vy zaplatíte zůstatek, odešleme ho.

4. O doručení:
Po dokončení výroby zařízení vám zašleme akceptační video a můžete si také přijít na místo prohlédnout zařízení.

5. Instalace a ladění:
Poté, co zařízení dorazí do vaší továrny, můžeme vyslat inženýry, aby zařízení nainstalovali a odladili. Na tento servisní poplatek vám poskytneme samostatnou cenovou nabídku.

6. O záruce:

Naše zařízení má 12měsíční záruční dobu. Pokud jsou po záruční době některé díly poškozeny a je třeba je vyměnit, budeme účtovat pouze nákladovou cenu.