Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Získejte nabídku

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hlavní strana
O nás
MH Equipment
Řešení
Uživatelé v zahraničí
Video
Kontaktujte nás
Domů> MH Equipment> Brouskovací a leštitelný stroj
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP
  • Automatické čištění po CMP

Automatické čištění po CMP

Získejte zdarma nabídku
Popis výrobku

Zařízení pro čištění po chemickém mechanickém leštění destičky

Čištění po CMP

Vlastnosti stroje

Silná schopnost procesu
Dvojitá komora s štětcem, s širokou paletou procesních aplikací
Zařízení zabírá malou plochu, s rozměry 2200 * 800 * 2200 (mm)

Oblasti použití

štětcování po CMP 6-8 palcových
Čištění po destilačním šlechování SIC nebo jiných podkladů

Technické parametry

Čištění po 4-palcovém a 6-palcovém CMP
Dvojkamerový design, nezávislé fungování komory Wet in and dry out nebo dry in and dry out
Vysokorychlostní rotující sušení SRD

LoadPort jednotka, nákladní jednotka

LoadPort je nákladní jednotkou tohoto zařízení
Kormidelné krabice s vodou
Má funkci sprejového namočení

Štětcová jednotka, jednotka na čištění desek Wafer

Dvojkamerová jednotka, schopná podpořit dva různé čisticí roztoky
Pozice štětcování lze upravit podle receptu Páskový dopravník

Jednotka SRD, jednotka na sušení vauferů

Typ vauferového svorkování s rotací, maximální rychlost 4000 ot/min
Může provádět čištění AS na povrchu vauferu a sprejovat DIW

Jednotka na vyložení, řezná jednotka

Vyložovací jednotka má nezávislou FFU pro zajištění čistoty výstupu vauferu

Dopravník

Mokrá oblast je páskový dopravník
Suchá oblast pro teleportaci robota

Popis štětčové jednotky

Jak je znázorněno na levém obrázku, štětčová jednotka tohoto zařízení se skládá ze dvou štětčovacích jednotek, konkrétně BU1 BU2.
Tlak kartáče u každé jednotky lze upravit odděleně (jak je stanoveno v receptu) a každá kartáčová čepel může být myta různými chemickými čisticími roztoky zvlášť.
Kartáček stroje používá PVA kartáč, což je běžný typ na trhu.
Přenos mezi komory je pásovým konvejérem. Uvnitř komory je DIW PRANÍ.

Jednotka SRD

Jednotka SRD je vybavena svorkou CHUCK a paží AS ARM, které mohou dále fyzičky vyčistit a otočit suchou povrch desky.
Specifikace
Velikost zařízení:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Způsoby nahrávání a vykládání
suché vnitřek/vlhké vnitřek/suché venku
Počet kartáčových jednotek
2
Počet jednotek SRD
1
Způsob dopravy
Přeprava v mokré zóně páskem, přeprava v suché zóně robotem
Velikost zařízení s čistící komorou o velikosti 1 je 1850 * 800 * 2200
Balení a dodání
Společenský profil
Často kladené otázky
1. O ceně:
Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a vyjednávatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.

2. O vzorku:
Můžeme vám poskytnout služby pro výrobu vzorků, ale můžete zaplatit nějaké poplatky.

3. O platbě:
Po potvrzení plánu musíte nejprve zaplatit úvěrovou částku a továrna začne připravovat zboží. Po připravení
zařízení a po zaplacení zbytku je odesláno.

4. O dodávce:
Po dokončení výroby zařízení vám pošleme akceptační video a můžete také přijít na místo pro kontrolu zařízení.

5. Instalace a ladění:
Po příjezdu zařízení do vaší továrny můžeme vydat inženýry na instalaci a ladění zařízení. Za tuto službu vám poskytneme samostatné cenové nabídky.

6. O záruce:

Naše zařízení má záruku 12 měsíců. Po skončení období záruky, pokud je nějaká součást poškozena a je třeba ji nahradit, účtuji pouze cenu náhrady.

Další produkty

Dotaz

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Zásady ochrany soukromí

Dotaz Email WhatsApp WeChat
Top
×

Kontaktujte nás