Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Získejte nabídku

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hlavní strana
O nás
MH Equipment
Řešení
Uživatelé v zahraničí
Video
Kontaktujte nás
Domů> Wafer Grinder
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)
  • Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)

Automatické jednoduché desky na chemicko-mechanické leštění vodíkových desk (CMP)

Získejte zdarma nabídku
Popis výrobku
ATOM Single Platen CMP

Vlastnosti stroje

Zařízení je flexibilní a může podporovat více hlav.
Procesní schopnost vybavení je blízká úrovni hlavního modelu produktů stejné velikosti.
Dobrá souladnost mezi procesy zařízení.

Oblasti použití

4-8 palcové STI, ILD/IMD, TSV, TGV leštění a povrchové leštění sloučenin jako SiC, LT, LN, GaAs atd.

Technické parametry

4-palcové, 6-palcové, 8-palcové hlavy, vícezónová kontrola
Typ Φ20 palců 508MM Plech
Kontrola přesnosti tlaku hlavy <0.05PSI
Kontrola přesnosti otáček hlavy a plechu <2RPM

1. Jednotka LoadPort

Port lze otočit tak, aby se Kasetta ponořila do Qtanku, čímž se zabrání vytváření krystalů Slurry na
lešteném povrchu Váferu. Vyžaduje funkci Cassette Mapping.

2. Jednotka pro získávání materiálu robotem

Vyžaduje 4-osového robota, který může automaticky převádět váfery z Kassetty do lešicí jednotky.

3. Věříme, že Jednotka leštění

Tato jednotka je vybavena plošinou * 1, hlavou * 1, PC *
v případě, že se použije metoda 1, musí být tento postup proveden v souladu s čl.
detekce. Může dosáhnout automatického nakládání a vykládání obalů, řízení hlavy s více zónami, slurry
změna místa přistání s nastavením receptu, detekcí koncového bodu a dalšími funkcemi.
Hlava leštěcího zařízení CMP
Všechny hlavy na tomto zařízení jsou nezávisle vyvinuty, navrženy a vyráběny naší společností.
Mezi nimi je 4palcová 3palcová hlava unikátním produktem vytvořeným naší společností, který vyplňuje mezeru bez více dutinových 4palcových hlav v Číně. Naše společnost může rychle upravit nebo přizpůsobit hlavu podle vlastností produktu zákazníka. Při vývoji produktů s tenkým fólií TGV (200 mm) byla vnitřní struktura hlavy upravena tak, aby vyhovovala požadavkům na leštění tenkého fólie. Během vývojového procesu technologie leštění povrchu LN OX naše společnost hluboce vylepšila 6palcovou hlavičku a úspěšně splnila požadavky zákazníka na produkt.
Aplikace
Tradiční proces IC planarizace a líšení;
TGV/TSV proces;
Smart Cut a Pre bonding CMP;
Líšení substrátu SIC/polovodiče arzenidu gallium.
Specifikace
Přístav
Množství * 1, s Q-tankem
Robot
Množství * 1, pro přenos vodivů
HCLU
Množství * 1, pro automatické nabíjení a vybíjení vodivů
Líšec
Množství * 13 komorová kontrola, kontrolní přesnost 0,1PSI, může podporovat operace s vodivy o tloušťce 400-1200 UM.
Rychlost leštící hlavy
5-150ot/m
Leštící kotouč
Množství * 1 velikost leštícího disku 508mm, rychlost leštícího polštáře 10-150ot/m.
Ořezávací rameno
Množství * 1 leštící polštář. Leštící polštář lze líštit online (současně) nebo offline (po leštění). Ořezávací
rameno je vybaveno ořezávacím štítem, který se může otáčet a pohybovat nahoru a dolů, a jeho rychlost a tlak mohou být řízeny.
ořezávací nástroj je montován na ořezávacím štítu a lze jej rychle
odstranit. Podle různých typů leštících polštářů jsou nakonfigurovány různé typy úpravních nástrojů, včetně úpravních
štětů, diamantových prstenů a diamantových desk.
Kontrolní jednotka vzduchového tlaku leštící hlavy UPA
Množství * 13. Přizpůsobitelná zóna pro lepší účinek vyrovnání povrchu
Nádržní čerpadlo na dodávku laku
Množství * 2. Používají se peristaltická čerpadla pro dodávku kapaliny, s dvěma peristaltickými čerpadly nakonfigurovanými k dodávce různých druhů laku
na polovnou desku. Každé čerpadlo lze použít v jakémkoliv kroku procesu.
Slurry rameno
Množství * 1 může řídit místo dopadu slurry a může čistit polovací podušku.
Operační řídící systém umožňuje ovládat úroveň uživatele, jako je režim operátora, režim údržby a technický režim, a jednotlivé režimy jsou kontrolovány hesly. Systémový software může upravovat parametry procesu každého kroku procesu a vyrovnávat a
polovat tenkou vrstvu na povrchu čipu podle programu. Může sledovat provozní stav zařízení, sledovat parametry procesu v reálném čase a software může automaticky ukládat různá data procesu. Vybaveno nouzovým tlačítkem pro zastavení
může sledovat provozní stav zařízení, sledovat parametry procesu v reálném čase a software může automaticky ukládat různá data procesu. Vybaveno nouzovým tlačítkem pro zastavení
procesu.
tlačítko, používá se k okamžitému zastavení provozu zařízení a vypnutí ovládacího napětí.
Balení a dodání
Společenský profil
Často kladené otázky
1. O ceně:
Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a vyjednávatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.

2. O vzorku:
Můžeme vám poskytnout služby pro výrobu vzorků, ale můžete zaplatit nějaké poplatky.

3. O platbě:
Po potvrzení plánu musíte nejprve zaplatit úvěrovou částku a továrna začne připravovat zboží. Po připravení
zařízení a po zaplacení zbytku je odesláno.

4. O dodávce:
Po dokončení výroby zařízení vám pošleme akceptační video a můžete také přijít na místo pro kontrolu zařízení.

5. Instalace a ladění:
Po příjezdu zařízení do vaší továrny můžeme vydat inženýry na instalaci a ladění zařízení. Za tuto službu vám poskytneme samostatné cenové nabídky.

6. O záruce:
Naše zařízení má záruku 12 měsíců. Po skončení období záruky, pokud je nějaká součást poškozena a je třeba ji nahradit, účtuji pouze cenu náhrady.

Další produkty

Dotaz

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Zásady ochrany soukromí

Dotaz Email WhatsApp WeChat
Top
×

Kontaktujte nás