CVD Zařízení pro materiály graphene a uhlíkové nanotrubičky / Polovodičové zařízení , China CVD Zařízení pro materiály graphene a uhlíkové nanotrubičky / Polovodičové zařízení Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

CVD zařízení pro materiály graphene a uhlíkové nanotrubičky

Zařízení je hlavně určeno pro nánosný proces graphene a nano materiálů; Difúze, oxidace a vyžehlování polycrystalického křemene a křemenného karbidu.

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment details

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment factory

Specifikace

konstrukční styl	Horizontální, jednotubový nebo více tubový systém s automatickou kontrolou
Přizpůsobení na velikost krystalových desk	2-8″
Metoda doručování a odebírání krystalových desk	Automatická kmitová kvartsová lodička s pohonem tlačítkem, kombinovaná s manuálním beránkem pro brání a uvolňování čipů.
Maximální teplota	1050℃
Pracovní teplota	400 ℃~850 ℃ spojitě přizpůsobitelné
Stabilita jednoho bodu teploty	400℃~850℃≤±0.5℃/24h
Systémový limitní vakuum	Lepší než 1Pa
rychlost čerpaní	Čas čerpaní do limitního vakua ＜ 15Min
rozsah pracovního tlaku	5Pa na 1 × 105Pa spojitě přizpůsobitelné
Napájení	3 fáze 5 drátů 380V±10%, 50Hz
Chladičová voda	2~4Kgf/cm², 8L/min;

Balení a dodání

Společenský profil

Máme 16 let zkušeností se prodejem zařízení. Můžeme vám nabídnout kompletní profesionální řešení pro výrobní linky balení v polovodičovém průmyslu - od počátečního až po konečné úpravy z Číny.