1. Použití 355nm UV lasery, který je produktem s nezávislým duševním vlastnictvím a drží americké vynálezové patenty, má stabilní výkon, dobrý bodový režim a může pracovat stabilně po dlouhou dobu.
2. Konfigurace CCD shora a zdola, vhodná pro pozici průhledných a poloprůhledných waférů.
3. Laserový paprsek se soustředí na malý bod, maximálně 4 μm a hloubka ≥ 25 μ.
4. Spolehlivá a přesná X-Y - θ 5. Efektivní a flexibilní softwarový operační systém, intuitivní rozhraní a jednoduché
ovládání.