Systém indukční koulové etching (ICP) pro polovodičové zařízení , China Systém indukční koulové etching (ICP) pro polovodičové zařízení Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

Systém indutivove kouplovaného plazmového etčení (icp)

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Výsledek procesu

Křišťálové / siliciové / režné etčení

Pomocí BR masky pro etčení křišťálových nebo siliciových materiálů má režná pole nejtenčí čáru až 300nm a strmost stran stěny pole je blízká > 89°, což lze použít pro 3D zobrazování, mikrooptické přístroje, optoelektronickou komunikaci atd.

Etčení sloučenin / polovodičů

Přesná kontrola teploty povrchu vzorku může dobře ovládat strukturu etčení materiálů na bázi GaN, GaAs, InP a kovů. Je vhodné pro modré LED zařízení, lasery, optickou komunikaci a další aplikace.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Etching křemíkových materiálů

je vhodné pro etčení materiálů na bázi křemíku, jako jsou Si, SiO2 a SiNx. Může realizovat etčení křemíkových čar širších než 50nm a hluboké etčení křemíkových děr menších než 100 mikrometrů

Specifikace

Konfigurace projektu a schéma konstrukce stroje

položka	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Velikost produktu	≤6 palců	≤8 palců	≤6 palců	≤8 palců	Vlastní≥12palců
Zdroj energie SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000W Přizpůsobitelné, automatické párování\, 13,56MHz/27MHz
Zdroj energie BRF	0~300W/0~500W/0~1000W Přizpůsobitelné, automatické párování, 2MHz/13,56MHz
Molekulární pumpa	Nekorozivní: 600/1300 (L/s)/Vlastní			Protikorozivní: 600/1300 (L/s)/Vlastní		600/1300(L/s)/Vlastní
Vakuová pumpa	Mechanická pumpa / suchá pumpa			Suchá protikorozní pumpa		Mechanická pumpa / suchá pumpa
Předevací pumpa	Mechanická pumpa / suchá pumpa			Mechanická pumpa / suchá pumpa
Procesní tlak	Nekontrolovaný tlak/0-0.1/1/10Torr kontrolovaný tlak
Typ plynu	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Vlastní (Až 12 kanálů, bez korozivních a toxických plynů)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Vlastní (Až 12 kanálů)
plynový kámen	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Vlastní
Nákladová zámka	Ano\/Ne			Ano
Ovládání teploty vzorku	10°C~Místnostní teplota/ -30°C~150°C /Vlastní			-30°C~200°C/Vlastní
Zpětné chlazení heliem	Ano\/Ne			Ano
Výztuha procesní dutiny	Ano\/Ne			Ano
Ovládání teploty stěn dutiny	Ne/Místnostní teplota-60/120°C			Místnostní teplota~60/120°C
Řídicí systém	Auto/vlastní
Etčírna materiál	Silicenová základna: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Organické materiály: PR/Organický film......			Silicenová základna: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnetický materiál\/ slitinový materiál Kovové materiály: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Organické materiály: PR\/organická vrstva...... Hluboké graverování křemíku

Balení a dodání

Společenský profil

Máme 16 let zkušeností se prodejem zařízení. Můžeme vám nabídnout kompletní profesionální řešení pro výrobní linky balení v polovodičovém průmyslu - od počátečního až po konečné úpravy z Číny.