Integrované řešení pro zařízení na odstraňování plazmového fotorezistu na balení polovodičů, Čína Integrované řešení pro zařízení na odstraňování mikrovlnného plazmového fotorezistu na balení polovodičů Výrobci, dodavatelé, továrna

popis produktu

Mikrovlnný přístroj na odstranění plazmového fotorezistu

Plazmové integrované řešení pro balení polovodičů

Integrované řešení pro balení polovodičů

Zařízení pro odstraňování mikrovlnného plazmového fotorezistu je nízkonapěťový systém pro odstraňování mikrovlnného plazmového fotorezistu speciálně navržený pro polovodiče. Aplikací mikrovln o frekvenci 2.45 GHz na okénko na stěně vakuové komory se generuje velké a nepřetržité množství plazmy, která vstupuje do komory pro procesní čištění čipu. Vhodné pro různé velikosti krabic na materiál, může splňovat různé potřeby a poskytovat přizpůsobená řešení.

Dodavatel integrovaného řešení pro balení polovodičů pro mikrovlnný plazmový fotorezist

Integrované řešení pro výrobu zařízení na odstraňování mikrovlnných plazmových fotorezistů pro balení polovodičů

Specifikace

PLAZMOVÝ zdroj	MV
energie	0-1250W
pracovní prostor	6 rozsahů zásobníků (rozsah velikosti zásobníku: 260 mm x š 95 mm x v 190 mm)
zpracovatelské kapacity	Rozteč 35um/40um Bump15x15mm maximální velikost matrice
Rozměry vzhledu	480mmx470mmx500mm
Řízení systému	Průmyslový kontrolní systém
Úroveň automatizace	Manuál