MCXJ-MLS8 Maskless lithography System , China MCXJ-MLS8 Maskless lithography System Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

Vzorek:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Diagram struktury zařízení

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Specifikace

Diagram struktury expoziční jednotky

struktura	uveďte příklad
Pult pro expozici	Expoziční oblast: pult, oblast umístění substrátu
Optický systém	Oblast vydávání laserového tvaru
Systém řízení prostředí	Řídí vnitřní teplotu a pozitivní tlak zařízení
Systém plošiny	Ovládá pohyb expoziční desky pro dokončení operace expozice
Řídicí systém	Řídící systém celého zařízení

Poznámka: Vzhledem k upgradu stroje se může skutečný vzhled změnit, konkrétní podrobnosti jsou podle skutečného produktu.

Žádný.	Prostředí	Vyžadovat
1	Světelné prostředí	Žluté světlo
2	Teplota	22℃±2℃
3	Vlhkost	50%±10%
4	Čistotu	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, suchý, čistý vzduch
6	Napájení	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Zemní vodič musí být zakotven,
7	Chladičová voda	Teplota: 10℃~ 20℃ Tlak: 0.3MPa ~ 0.5MPa Tok: 20L/min Rozdíl tlaku: více než 0.3MPa Připojovací průměr: Rc3/8
8	Místo konání	úroveň: ±3mm/3000mm otřes: VC-B Ložisko: 750kg/㎡
10	Internet	Jedno síťové připojení
11	Velikost stroje	130011002100mm
12	Hmotnost zařízení	1500kg

Žádný.	Projekt	- Přesná specifikace.	Poznámka
1	Rozlišení	0.6um/nebo jiná požadavky	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Tloušťka podložky	0.2mm～4mm
4	Přesnost mřížky dat	60nm
5	Překryv	±500nm	130mmx130mm
6	Přesnost šití	±200nm	AZ703
7	Maximální vystavení	190X190mm
8	Provozní výkon	≥300mm²/min	≤50mj/cm²;
9	světelný zdroj	LD 375nm
10	výkon světla	6W
11	Energetická rovnoměrnost	≥95%
12	životnost světla	10000h

Balení a dodání

Společenský profil

Máme 16 let zkušeností se prodejem zařízení. Můžeme vám nabídnout kompletní profesionální řešení pro výrobní linky balení v polovodičovém průmyslu - od počátečního až po konečné úpravy z Číny.