Vakuová plazmová hostitelská jednotka(100) |
||
Velikost zařízení |
D 1000׊ 900×V 1750mm |
|
váha |
500Kg |
|
Poptávka po napájení |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linek, 25A (celkem otevřený typ nad C) |
|
Specifikace plazmového generátoru |
||
energie |
rádiová frekvence |
mezifrekvenční |
0 ~ 600W |
0-1000W |
|
napájecí frekvence |
13.56MHz |
40 kHz |
Vakuový systém |
||
Vakuové čerpadlo |
Přeletové rotační čerpadlo (olejové čerpadlo): 60 m3/h |
|
vakuové potrubí |
Všechny linky z nerezové oceli, stejně jako vysoce pevné vakuové měchy |
|
kvalita materiálu |
alufer |
|
tloušťka |
25mm |
|
těsnost |
Svařovací těsnění vojenské kvality |
|
Vnitřní rozměry dutiny |
450*450*500mm(Šířka*výška*hloubka) |
|
Efektivní velikost elektrické desky |
322 * 351 mm (šířka * hloubka) |
|
Dostupné prostorové rozestupy |
20mm |
|
Uspořádání galvanické desky |
Vodorovná elektrodová deska |
|
podnosy |
Standardní sada, materiál volitelný (hliník, ocelové pletivo) |
|
pracovní prostor |
8 vrstva |
|
procesní plyn |
||
Rozsah průtoku |
0~300 SCCM |
|
Cesta procesního plynu |
Standardní se dvěma způsoby, lze přizpůsobit. Procesní plynovod je vyroben z feroflonu |
|
navigovat |
||
SC |
PLC |
|
interaktivní režim |
7palcový dotykový displej |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Všechna práva vyhrazena