Vakuová plazmová hostitelská jednotka(150) |
||
Velikost zařízení |
D 1100׊ 940×V 1755mm |
|
váha |
600Kg |
|
Poptávka po napájení |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linek, 25A (celkem otevřený typ nad C) |
|
Specifikace plazmového generátoru |
||
energie |
rádiová frekvence |
mezifrekvenční |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
napájecí frekvence |
13.56MHz |
40 kHz |
Vakuový systém |
||
Vakuové čerpadlo |
Skokové monopólové čerpadlo VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
vakuové potrubí |
Všechny linky z nerezové oceli, stejně jako vysoce pevné vakuové měchy |
|
kvalita materiálu |
alufer |
|
tloušťka |
25mm |
|
těsnost |
Svařovací těsnění vojenské kvality |
|
Vnitřní rozměry dutiny |
500*500*600mm (Šířka* výška * hloubka) |
|
Efektivní velikost elektrické desky |
372 (Š) X 451 (H) mm |
|
Dostupné prostorové rozestupy |
24mm |
|
Uspořádání galvanické desky |
Vodorovná elektrodová deska |
|
podnosy |
Standardní sada, materiál volitelný (hliník, ocelové pletivo) |
|
pracovní prostor |
8 vrstva |
|
Procesní plyn |
||
Rozsah průtoku |
0~300 SCCM |
|
Cesta procesního plynu |
Standardní se dvěma způsoby, lze přizpůsobit. Procesní plynovod je vyroben z feroflonu |
|
Kontrolní systém |
||
SC |
ovládání PC |
|
interaktivní režim |
Rozhraní Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Všechna práva vyhrazena