Nositel vakuumového plazmatu (200) |
||
Rozměry zařízení |
1050×1700×1050mm (šířka, výška a hloubka) |
|
Hmotnost |
800kg |
|
vyžadovaná elektrická výkon |
AC380V,50/60Hz,5drátů, 30A |
|
Specifikace plazmatického generátoru |
||
síťové napájení |
rádiová frekvence |
-li |
0~1000W |
0-2000W |
|
Četnost výkonu |
13.56mhz |
40 KHz |
Vakuový systém |
||
Vakuová pumpa |
Feiyue unipolární čerpadlo VSV100+Dvojité kořenové čerpadlo BSJ70 |
|
vakuová linka |
Všechny ocelové trubky a vakuové vlnivé spoje vysočité pevnosti |
|
Materiál |
Hliníková slitina |
|
Tloušťka |
25mm |
|
těsnost |
Vojenská úroveň svářeného uzavření |
|
Rozměry dutiny vnější |
600×600×600mm (Š×V×H) |
|
Efektivní velikost elektrodní desky |
472 X 451mm (Š×H) |
|
dostupný prostor |
35mm |
|
Rozložení elektrodní desky |
Vodorovná elektrodní deska |
|
pracovní podložka |
Jeden soubor je standardní, materiál je volitelný (hliník, ocelová síť) |
|
pracovní prostor |
8 podlaží |
|
Procesní plyn |
||
Rozsah toku |
0~300SCCM |
|
Procesní plynová soustava |
Vyčleněno O2, Ar, N2 trojcestný plyn |
|
Řídicí systém |
||
Systémové řízení |
Ovládání PC |
|
interaktivní mód |
Rozhraní Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved