Hostitelská jednotka vakuumového plazmatu (200) |
||||
Rozměry zařízení |
1050×1700×1050mm (šířka, výška a hloubka) |
|||
hmotnost |
800kg |
|||
vyžadovaná elektrická výkon |
AC380V,50/60Hz,5drátů, 30A |
|||
Specifikace plazmatického generátoru |
||||
síťové napájení |
rádiová frekvence |
-li |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Četnost výkonu |
13.56mhz |
40 KHz |
||
Vakuový systém |
||||
vakuová pumpa |
Feiyue unipolární čerpadlo VSV100+Dvojité kořenové čerpadlo BSJ70 |
|||
vakuová linka |
Všechny ocelové trubky a vakuové vlnivé spoje vysočité pevnosti |
|||
materiál |
Hliníková slitina |
|||
tloušťka |
25mm |
|||
těsnost |
Vojenská úroveň svářeného uzavření |
|||
Rozměry dutiny vnější |
600×600×600mm (Š×V×H) |
|||
Efektivní velikost elektrodní desky |
472 X 451mm (Š×H) |
|||
dostupný prostor |
35mm |
|||
Rozložení elektrodní desky |
Vodorovná elektrodní deska |
|||
pracovní podložka |
Jeden soubor je standardní, materiál je volitelný (hliník, ocelová síť) |
|||
Pracovní prostor |
8 podlaží |
|||
Procesní plyn |
||||
Rozsah toku |
0~300SCCM |
|||
Procesní plynová soustava |
Vyčleněno O2, Ar, N2 trojcestný plyn |
|||
Řídicí systém |
||||
systémové řízení |
Ovládání PC |
|||
interaktivní mód |
Rozhraní Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved