Vakuová plazmová hostitelská jednotka (60) | ||||
Velikost zařízení | D 950׊ 900×V 1650mm | |||
váha | 350Kg | |||
Poptávka po napájení | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linek, 16A (celkem otevřený typ nad C) | |||
Specifikace plazmového generátoru | ||||
energie | rádiová frekvence | mezifrekvenční | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
napájecí frekvence | 13.56MHz | 40 kHz | ||
Vakuový systém | ||||
Vakuové čerpadlo | Dvoustupňové rotační čerpadlo (olejové čerpadlo): 40m3/h | |||
vakuové potrubí | Všechny linky z nerezové oceli, stejně jako vysoce pevné vakuové měchy | |||
kvalita materiálu | Hliníková slitina (přizpůsobitelná dutina z nerezové oceli) | |||
tloušťka | 25mm | |||
těsnost | Svařovací těsnění vojenské kvality | |||
Vnitřní rozměry dutiny | 375*375*430mm(Šířka*výška*hloubka) | |||
Efektivní velikost elektrické desky | 247*281mm (široká* hloubka) | |||
Dostupné prostorové rozestupy | 22mm | |||
Uspořádání galvanické desky | Horizontální uspořádání, může být aktivní těžba | |||
podnosy | Standardní sada, materiál volitelný (hliník, ocelové pletivo) | |||
pracovní prostor | 6 vrstva | |||
procesní plyn | ||||
Rozsah průtoku | 0~300 SCCM | |||
Cesta procesního plynu | Standardní se dvěma způsoby, lze přizpůsobit. Procesní plynovod je vyroben z feroflonu | |||
navigovat | ||||
SC | PLC | |||
interaktivní režim | 7palcový dotykový displej |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Všechna práva vyhrazena