MDICP-5000F Plně automatický ICP leptací stroj / polovodičová zařízení Indukčně vázaná plazma, Čína MDICP-5000F Plně automatický ICP leptací stroj / polovodičová zařízení Výrobci indukčně vázané plazmy, dodavatelé, továrna

popis produktu

MDICP-5000F Plně automatický ICP leptací stroj

Shrnutí

Zařízení je dvoukomorový vakuový systém. Jedna komora je vstřikovací vzorkovací komora a druhá je leptací komora. Mezi vstřikovací vzorkovací komorou a leptací komorou je instalován vakuový uzávěr a vstřikovaný vzork je dopravován manipulátorem.
Zařízení se skládá hlavně z vakuového systému, systému plynového okruhu, elektrického systému, řídicího systému, chladicího systému, mechanismu podávání a odběru filmu, poplašného systému atd.

Vakuový systém

Systém se skládá z molekulárního čerpadla s čerpací rychlostí 600 L/S + importovaného vakuového suchého čerpadla s čerpací rychlostí l/s pro čerpání leptací komory do vysokého vakua. Mezi molekulárním čerpadlem a leptací komorou je instalován elektrický dynamický tlakový regulační ventil. Dovezené suché čerpadlo je předčerpací čerpadlo leptací komory a čerpadlo předního stupně molekulárního čerpadla. Použijte další mechanickou pumpu s čerpací rychlostí L/s k vakuování komory na vzorky. Pro spojení mezi mechanickou pumpou a vakuovou komorou a molekulární pumpou se používá vlnovec z nerezové oceli a je instalován elektromagnetický pneumatický blokový ventil.

Systém řízení konstantního tlaku

Zařízení je vybaveno následným systémem řízení konstantního tlaku a v potrubí pro odvod vzduchu je instalován elektrický nastavitelný ventil. Prostřednictvím měření filmového měřidla (importované díly) je nastavitelný ventil řízen tak, aby vakuová komora dosáhla konstantního tlaku, aby se zlepšila stabilita procesu.

Systém řízení konstantního tlaku

Systém plynového okruhu

Dvě sady RF napájecích zdrojů s automatickým přizpůsobením.

Alarm systém

Bezpečnostní požadavky na zařízení.

Specifikace

Jméno	Spc	značka	č./sada	Pozor
Leptací komora, potrubí pro odvod vzduchu, pozorovací okénko, vyhrazené rozhraní atd	Standard	JSWN	1	Antikorozní
Rám, elektrická skříň, těsnění, standardní díly atd	Standard	JSWN	1
Systém zvedání krytu leptací komory	Standard	JSWN	1	Antikorozní
Leptací elektroda a chladicí systém	Standard	JSWN	1	Antikorozní
Molekulární čerpadlo (rychlost čerpání 600 l/s)	FF620/150	KYKY	1	Antikorozní
Vstupní suché čerpadlo (rychlost čerpání 9 l / s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Antikorozní
Mechanické čerpadlo (rychlost čerpání 9 l / s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrické regulační šoupátko	DCQ-150	JSWN	1	Antikorozní
Pneumatický uzavírací ventil vlnovce	KF40	JSWN	3	Antikorozní
Filmové měřidlo	KF16	INFICON	1	Antikorozní
Regulátor hmotnostního průtoku	D07	Sevenstar	4	Antikorozní
Pneumatický membránový ventil	1/4″ VCR	-	4	Antikorozní
Trubka z nerezové oceli, potrubní spoj atd	1/4″ VCR	-	4	Antikorozní
RF napájecí zdroj / automatický dohazovač	-	Čína (volitelně CROWN1310)	1
RF napájecí zdroj / automatický dohazovač	-	Čína (volitelně CROWN1310)	1
Kompozitní vakuometr	ZDF	RB	1
IPC	2U	Čína	1
LCD dotyková obrazovka	17inch	Čína	1
Řídicí systém PLC	S7-200	Siemens	1
Systém řízení elektrického pohonu	Standard	JSWN	1
Systém detekce chladicí vody a potrubní systém	Standard	JSWN	1
Systém detekce stlačeného vzduchu a potrubí	Standard	JSWN	1
Stroj na chlazení cirkulační vody	HX	Čína	1
Vstřikovací komora leptání	Standard	JSWN	1
Vakuový zámek	SMC	SMC	1
Řídicí systém manipulátoru	SMC	SMC	1

Technický parametr pošty

1. Mezní vakuum: Leptací komora 9.0×10-5Pa (vnitřní vlhkost≤55 %)
Vstřikovací odběrová komora 6.0×10-1Pa
2. Materiál pro leptání: Ⅲ、ⅤMateriál、Si 、SiO2, atd.
3. Rychlost leptání: ~ 1μ/min
4. Rovnoměrnost leptání: ≤±5％(rozsah φ125 mm)
6. Velikost elektrody: φ200mm

Balení a dodání

Pro lepší zajištění bezpečnosti vašeho zboží budou poskytovány profesionální, ekologické, pohodlné a efektivní balicí služby.

Profil společnosti

Máme 16 let zkušeností s prodejem zařízení. Můžeme vám poskytnout profesionální řešení One-stop Semiconductor Front-end a Back-end Package Line zařízení z Číny.

MDICP-5000F Plně automatický ICP leptací stroj / polovodičové vybavení Dodavatel indukčně vázaného plazmatu

Domů

O Nás

Zařízení MH

Řešení

Zámořští uživatelé

Video

Kontaktujte Nás

MDICP-5000F Plně automatický ICP leptací stroj / polovodičová zařízení Indukčně vázaná plazma Česká republika