MDICP-5000F Úplně automatický stroj pro ICP etching / Polovodičové zařízení Indukčně koulovaný plasma , China MDICP-5000F Úplně automatický stroj pro ICP etching / Polovodičové zařízení Indukčně koulovaný plasma Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

MDICP-5000F Zcela automatický ICP etching přístroj

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Shrnutí

Zařízení je dvoukomorovým vakuum systémem. Jedna komora je inkubační vzorkovací komora a druhá je etčící komora. Vakuum zámek je nainstalován mezi inkubační vzorkovací komorou a etčící komorou a inkubační vzorkování je přepravováno manipulátorem.
Výbava se hlavně skládá z vakuumového systému, plynového obvodu, elektrického systému, řídícího systému, chladiče, mechanismu na předávání a brání filmu, alarmového systému atd.

Vakuový systém

Systém se skládá z molekulového pumpu s výtěkovou rychlostí 600 L/s + importované vakuumové suché pumpy s výtěkovou rychlostí L/s pro čerpaní gravurační komory do vysokého vakua. Mezi molekulovou pumpou a gravurační komorou je nainstalovaná elektrodynamická regulační ventil. Importovaná suchá puma slouží jako předpumpa pro gravurační komoru a jako předpumpa pro molekulovou pumpu. Používá se také další mechanická puma s výtěkovou rychlostí L/s pro čerpaní vzorkové komory. Pro spojení mezi mechanickou pumpou, vakuumovou komorou a molekulovou pumpou se používají ocelové vlnité trubky a je instalovaný elektromagnetický pneumatický blokovací ventil.

Systém konstantního tlakového řízení

Výbava je vybavena systémem řízení konstantního tlaku na výstupu a v potrubí na odsávání vzduchu je nainstalované elektricky regulované kohouty. Přes měření filmového manometru (dodávané součásti) se ovládá regulovaný kohout tak, aby dosáhl konstantního tlaku v vakuumové komoře, čímž se zvyšuje stabilita procesu.

Systém konstantního tlakového řízení

Plynová soustava

Dvě sady RF napájecí jednotky s automatickým párem.

systém poplachu

Bezpečnostní požadavky pro zařízení.

Specifikace

Jméno	Spc	Značka	Číslo/ sada	Poznámka
Erozní komora, odsávací potrubí, pozorovací okno, rezervované rozhraní atd.	Standard	JSWN	1	Protikorozní
Rám, elektřinový šatel, uzavírací materiály, standardní součásti atd.	Standard	JSWN	1
Systém zvedání víka etčovací komory	Standard	JSWN	1	Protikorozní
Etčovací elektroda a systém chlazení	Standard	JSWN	1	Protikorozní
Molekulární pumpa (súživost 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	Protikorozní
Vstupní suchá pumpa (súživost 9 L/s)	XDS-35I	Edwards	1	Protikorozní
Mechanická pumpa (súživost 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrická regulovací ventil s klapkou	DCQ-150	JSWN	1	Protikorozní
Pneumatický membránový uzavírací ventil	KF40	JSWN	3	Protikorozní
Filmová měřidla	KF16	INFICON	1	Protikorozní
Regulátor hmotnostního průtoku	D07	Sevenstar	4	Protikorozní
Pneumatická membránová klapa	1/4" VCR	-	4	Protikorozní
Ocelová trubka, spojnice trubky atd.	1/4" VCR	-	4	Protikorozní
RF zdroj napájení / automatické zařízení pro párování	-	Čína (Volitelné CROWN1310)	1
RF zdroj napájení / automatické zařízení pro párování	-	Čína (Volitelné CROWN1310)	1
Složený vakuumový manometr	ZDF	RB	1
IPC	2U	Čína	1
LCD dotyková obrazovka	17 palců.	Čína	1
systém plc řízení	S7-200	Siemens	1
Řídící systém elektrického pohonu	Standard	JSWN	1
Detekce a systém potrubí pro chladičovou vodu	Standard	JSWN	1
Detekce a systém potrubí pro kompresní vzduch	Standard	JSWN	1
Stroj na cyklické chlazení vody	HX	Čína	1
Injekční komora pro etching	Standard	JSWN	1
Vakuová zámka	SMC	SMC	1
Řídící systém manipulátoru	SMC	SMC	1

Technický parametr pošty

1. Limit vakuu: Etching komora 9.0×10-5Pa (vnitřní vlhkost≤55%)
Vzorkovací komora pro injekci 6.0×10-1Pa
2. Materiál pro etching: materiál III, V, Si, SiO2 atd.
3. Rychlost etování: ~ 1μ/min
4. Rovnoměrnost etování: ≤±5％(v rozsahu φ125mm)
6. Velikost elektrodu: φ200mm

Balení a dodání

Abychom lépe zajistili bezpečnost vašich zboží, budou poskytnuty profesionální, ekologicky šetrné, pohodlné a efektivní balicí služby.

Společenský profil

Máme 16 let zkušeností se prodejem zařízení. Můžeme vám nabídnout kompletní profesionální řešení pro výrobní linky balení v polovodičovém průmyslu - od počátečního až po konečné úpravy z Číny.