Toto zařízení je hlavně určeno pro vývoj a výrobu malých a středně velkých integrovaných obvodů, polovodičových součástek a přístrojů povrchové akustické vlny. Díky pokročilému vyrovnávacímu mechanismu a nízké síle vyrovnání je tento stroj vhodný nejen pro expozici různých druhů substrátů, ale také pro expozici snadno křupavých substrátů, jako jsou arsenidy draselné a fosfát oceli, a expozici nekruhovitých a malých substrátů.
Specifikace
Hlavní technické parametry
1. Typ vystavení: jednostranné vystavení 2. Oblast vystavení: 110x110mm; 3. Rovnoměrnost vystavení: ≥ 97%; 4. Intenzita vystavení: 0-30mw/cm2 přizpůsobitelná; 5. Úhel UV paprsku: ≤ 3 ° 6. Střední vlnová délka ultrafialového světla: 365nm; 7. Životnost zdroje UV světla: ≥ 20000 hodin; (2letá záruka) 8. Použití elektronického okeníku; 9. Rozlišení vystavení: 1 μm 10. Rozsah pohledu kamery: ± 15mm Y: ± 15mm 11. Rozsah zarovnání: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°. 12. Přesnost zarovnání: 1um (za dobrých podmínek). 13. Rozsah oddělovací vzdálenosti: 0-50um přizpůsobitelné. 14. Metoda expozice: kontaktová expozice (tvrdá/měkká/mikrodoteková). 15. Metoda vyvážení: Vzduchová plovoucí. 16. Mikroskopický systém: dvojité pole zorného úhlu CCD systém, objektivní čočka 1.6X~10X, počítačový systém pro zpracování obrazu, 19" LCD monitor; Celkové zvětšení 91-570x. Vzdálenost objektivu: 50-120mm. 17. Velikost masky: 127*127mm; 102*102mm 18. Velikost substrátu: Φ102mm; Φ76mm 19. Hustota substrátu: ≤1mm 20. Čas expozice: 0-999.9 sekund přizpůsobitelně. 21.Výkon: 220V 50Hz 1.5kw. 22.zdroj vzduchu? 0.4Mpa 23.Stupeň vakua: -0.07MPa~-0.09Mpa
Balení a dodání
Společenský profil
Máme 16 let zkušeností se prodejem zařízení. Můžeme vám nabídnout kompletní profesionální řešení pro výrobní linky balení v polovodičovém průmyslu - od počátečního až po konečné úpravy z Číny.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
