MDXN-25X Vysokoprávnostní jednostranná litografická stroj , China MDXN-25X Vysokoprávnostní jednostranná litografická stroj Manufacturers, Suppliers, Factory

Popis výrobku

Toto zařízení je přesná litografická mašina vyvinutá naší společností speciálně pro použití v různých vysokých školách a výzkumných institucích. Je hlavně určena pro vývoj a výrobu malých a středních integrovaných obvodů, polovodičových součástek, optoelektronických zařízení a povrchových akustických vlnových zařízení.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Specifikace

Hlavní technické parametry

1. Zařízení může vysávat a pevně držet čtvercovou masku o velikosti 5" x 5", přičemž na tloušťku desky (od 1 do 3 mm) nejsou klada žádné speciální požadavky.
2. Zařízení lze použít pro kruhové substrát o průměru ф 100mm;
3. Tloušťka substrátu ≤ 5mm;
4. Osvětlení:
Zdroj světla: Používá se GCQ350Z ultra-vysokotlaká rtuťová současná rtuťová lampa.
Osvětlovací rozsah: ≤ ф 117mm Plocha expozice: ф 100mm
v rámci rozsahu ф 100mm je neregularita expozice ≤ ± 3 % a intenzita expozice >6mw/cm² (tento parametr je měřen pomocí UV zdroje světla I-linka 365nm).
5. Toto zařízení používá importovaný časový relé k řízení pneumatického závěru, což zajistí přesnou a spolehlivou operaci.
6. Tento stroj je kontaktovým expozním strojem, který dokáže dosáhnout:
7. Pevná kontaktová expozice: Pomocí potrubí vytváří vakuum pro vysokovakuumový kontakt, vakuum ≤ -0,05MPa
8. Měkký kontaktní expozice: Kontaktní tlak může zvýšit vakuum na hodnotu mezi -0,02MPa a -0,05MPa.
9. Mikrokontaktní expozice: méně než měkká kontakt, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Expoziční rozlišení: Rozlišení pevného kontaktu této zařízení může dosáhnout více než 1 μm (přesnost uživatelské "desky" a "čipu" musí být v souladu s národními předpisy, a navíc se musí přísně řídit prostředím, teplotou, vlhkostí a prachem. Používá se importovaná pozitivní fotorezist a tloušťka rovnoměrného fotorezistu může být přísně kontrolována. Navíc jsou pokročilé přední a zadní procesy).
11. Zarovnání: Pozorovací systém se skládá ze dvou CCD kamer umístěných na dvou jednotubových mikroskopech a spojených s displejem pomocí videokabelu.

Balení a dodání

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Společenský profil

Máme 16 let zkušeností se prodejem zařízení. Můžeme vám nabídnout kompletní profesionální řešení pro výrobní linky balení v polovodičovém průmyslu - od počátečního až po konečné úpravy z Číny.