1.Energetické požadavky zařízení: Napájecí jednotka hlavního těla: 220V, 50HZ, spotřeba energie ≤1.5KW;
2.Vybaven vakuumovým pumpou s napájením 220V;
3.Rozměry a hmotnost: Rozměry: 1200 (délka) × 720 (šířka) × 1500 (výška). Hmotnost ≤170kg;
4.Umístěte tělo stroje na specializovaném pracovním stole;
5.Typ expozice: kontaktový typ, zarovnání desek, dvojstranná expozice;
6.Expoziční plocha: φ100mm;
7.Nerovnoměrnost expozice: ≤±3%;
8.Intenzita expozice: ≥5mw/cm2;
9. Rozlišení expozice: 2μm;
10. Režim expozice: Dvoustranná současná expozice;
11. Rozsah zarovnání: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Přesnost frézování: 2μm;
13. Rotace rozsahem: Rotace ve směru Q ≤±5°;
14. Mikroskopický systém: Dualní CCD systém s oblastí viditelnosti, objektiv 1.6X~10X, počítačový systém zpracování obrazu, 19"LCD monitor;
15. Velikost masky: Schopná vakuumového nasávání