Přesná brusná a lustrační stroj MDAM-CMP100/150, hlavní jednotka a všechny náhradní díly jsou vyrobeny z materiálů s vysokou odolností proti korozi. Celý stroj je odolný proti korozi, stabilní, odolný proti mackání a rezivosti, vhodný pro chemicko-mechanické brusby a lustrace různých polovodičových materiálů. Pracovní prostor je oddělen od oblasti displeje a ovládání a je digitálně řízen pomocí dotykového systému ovládání. Je CNC řízen, možné uložit nastavení a později ho znovu načíst.
Systém zařízení má časovací funkci, která může pracovat nepřetržitě 10 hodin a ovládat rychlost leštícího disku. Ovládací panel je umístěn vně plochy pracovní oblasti, aby se zabránilo vylétnutí šlehačného roztoku na ovládací panel. Všechny parametry hlavní jednotky lze upravit na dotykovém panelu. Parametry procesu hlavní jednotky mají funkce ukládání a načítání pro zajištění souladu a opakovatelnosti procesu. Vzorek waferu je adsorbován na spodní straně držáku pomocí vakuumového čerpadla, je vybaven bezolejovým vakuumovým čerpadlem a má nezávislou funkci prevence protiproudového vuctions.
Vzorkovací systém s vodorovnou otočnou soustavou má kyvadlovou funkci, přičemž rozsah kyvu je přizpůsobitelný v rozmezí 0-100 %. Kyvadlová amplituda a frekvenční rychlost mohou být přesně nastaveny prostřednictvím ovládacího panelu. Vzorkovací zařízení je vybaveno nezávislým pohonem pro rotaci, s přizpůsobitelným rozsahem rychlosti 0-120 ot/min. Tento funkční návrh zajišťuje plnou kyvadlovou leštění vzorku během procesu šlechování a leštění, což významně zvyšuje kapacitu a účinnost zařízení.
Vzorkovací zařízení je vybaveno číslicovou tabulkou pro sledování tloušťky se sledovací přesností 1 μm. Družnice vzorkovacího zařízení na vzorek waferu je spojitě přizpůsobitelná, s rozsahem tlaku 0-3,5 kg a přesností 2 g/cm², a je vybavena měřicím zařízením pro tlak.
Funkce šlehačky a lustračního disku je řízena hlavním pohonem a rychlost disku lze upravit od 0 do 120 otáček za minutu. Tento rozsah rychlosti efektivně zajišťuje rychlost šlechování a líhání vzorků z materiálů různé tvrdosti a velikosti, čímž dosahujeme lepších procesních ukazatelů. Nahrazování šlehačkových a lustračních disků je jednoduché a rychlé, s vloženými disky, které umožňují přístroji rychlou přechod od šlechování k líhání, což významně snižuje čas procesu. Navíc je šlehačkový disk vybaven opravným blokem, který zajišťuje dobrý rovnostřejný stav šlehačkového disku.