položka |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Velikost produktu |
≤6 palců |
≤8 palců |
≤8 palců |
||
RF zdroj energie |
0-300W/500W/1000W Regulovatelné, automatické ladění |
||||
Molekulární pumpa |
-/620(L/s)/1300(L/s)/Podle požadavku |
Antiseptický620(L/s)/1300(L/s)/Podle požadavku |
|||
Vakuová pumpa |
Mechanická pumpa/suchá pumpa |
Suché čerpadlo |
|||
Procesní tlak |
Nekontrolovaný tlak/0-1Torr kontrolovaný tlak |
||||
Typ plynu |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Podle požadavku (Až 9 kanálů, bez korozičných a toxických plynů) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Až 9 kanálů) |
|||
plynový kámen |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/vlastní |
||||
Nákladová zámka |
Ano\/Ne |
Ano |
|||
Ovládání teploty vzorku |
10°C~Místnostní teplota/-30°C~100°C/Vlastní |
-30°C~100°C/Vlastní |
|||
Zpětné chlazení heliem |
Ano\/Ne |
Ano |
|||
Výztuha procesní dutiny |
Ano\/Ne |
Ano |
|||
Ovládání teploty stěn dutiny |
Ne/Místnostní teplota~60/120°C |
Místnostní teplota-60/120°C |
|||
Řídicí systém |
Auto/vlastní |
||||
Etčírna materiál |
Silicenový: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetické materiály/ligové materiály Kovový materiál: Ni/Cr/Al/Au. Organický materiál: PR/PMMA/HDMS/Organická vrstva. |
Silicenový: Si/SiO2/SiNx. III-V (pozn. 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (pozn. 3): CdTe. Magnetické materiály/ligové materiály Kovové materiál: Ni/Cr/A1/Au. Organický materiál: PR/PMMA/HDMS /organická vrstva. |
Vhodné pro mikrovlnné zařízení, silové zařízení atd.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) stroj je moderní technologie, která dokáže vyrychovat a analyzovat různé typy materiálů s úžasnou přesností. Tento stroj je navržen pro použití v různých odvětvích, kde je pravidelně vyžadována mikrofabricace nebo vyrychování. Je vyroben z kvalitních materiálů, které ho činí trvanlivým, spolehlivým a schopným vytvářet vynikající výsledky.
Vybaven RF plazmovým generátorem je účinný. RIE systém používá kouplení indukčním ke vzniku plazmatu z krmiva. Tato metoda vytváří plazmu s vysokou hustotou, která zvyšuje rychlost vyrychování spojenou s produktem. Vyrychovací proces RIE stroje je účinný, přesný a velmi řiditelný, což umožňuje dosažení specifické hloubky. Tato vlastnost jej činí vynikajícím volbou pro výzkum nebo průmyslové práce.
Stroj má široké využití, včetně mikroelektroniky, výroby MEMS a výroby polovodičů. Tento stroj hraje důležitou roli při etčení a mikromechanickém zpracování polovodičových materiálů jako jsou křemík, gallium arsenid a germanium v polovodičovém průmyslu. Zařízení Minder-High-tech RIE bylo navíc uplatněno v průmyslu MEMS pro výrobu jak měkkých, tak i tvrdých materiálů, jako je polyimid, křemíková dioxide a křemíková nitrida. Navíc je dostupné pro analýzu selhání v odvětvích souvisejících s elektronickými službami a produkty.
Zahrnuje funkce, které usnadňují použití. Software je uživatelsky přátelský a poskytuje operátorovi úplnou kontrolu nad parametry eroze používanými v zařízení. Nastavení stroje jsou uložena do jeho interní paměti, kde může uchovávat více než 100 sad nastavení. Má dotykový obrazovku, která umožňuje operátorovi nastavit parametry jako proudení plynu, hustotu výkonu a tlak. Minder-High-tech RIE stroj také disponuje funkcí řízení teploty, která zajišťuje, že materiály jsou erozovány ve správné teplotě a zabrání jim poškození.
Skvělé pro firmy, které potřebují spolehlivé a efektivní zařízení, které může poskytnout přesné a přesnostní výsledky. Toto zařízení bylo navrženo s nejlepší technologií a na velmi vysoké úrovni. Jeho univerzálnost a uživatelsky přátelské funkce ho činí velmi dobrým volbou pro výzkumné a průmyslové aplikace napříč různými odvětvími.
Má také efektivní systém pro analýzu selhání, který umožňuje stroji detekovat a opravovat jakékoli mechanické problémy co nejdříve. Tento systém zajistí, aby RIE stroj udržoval vysokou kvalitu a spolehlivost během celého životního cyklu. Pro jakoukoli průmyslovou oblast, která vyžaduje přesné a efektivní etčení nebo mikrofabrikaci, je stroj Minder-High-tech RIE ideálním řešením.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved