Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Domů
O Nás
Zařízení MH
Řešení
Zámořští uživatelé
Video
Kontaktujte Nás
Domů> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE
  • Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE

Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE Analýza poruch RIE Česká republika

popis produktu 
Systém reaktivního iontového leptání
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Dodavatel analýzy poruch
editaci videa
Pasivační vrstva: SiO2, SiNx
Backsilicon
Adhezní vrstva: TaN
Průchozí otvor: W
vlastnost
1. Leptání pasivační vrstvy s otvory nebo bez nich;  
2. Leptání adhezivní vrstvy;  
3. Zadní leptání křemíku
Specifikace
Konfigurace projektu a schéma struktury stroje
Položka
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Rozměry výrobku
≤6 palců
≤8 palců
≤8 palců


RF zdroj energie
0-300W/500W/1000W Nastavitelné, automatické přizpůsobení


Molekulární pumpa
-/620(L/s)/1300(L/s)/Vlastní

Antiseptické620(l/s)/1300(l/s)/vlastní

Pumpa přední linie
Mechanické čerpadlo/suché čerpadlo

Suché čerpadlo

Procesní tlak
Nekontrolovaný tlak/0-1Torr řízený tlak


Druh plynu
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Vlastní
(Až 9 kanálů, žádný korozivní a toxický plyn) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Plynový rozsah
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Ano/Ne

Ano

Ukázka regulace teploty
10°C~Teplota místnosti/-30°C~100°C/Vlastní

-30°C~100°C /Vlastní

Zadní chlazení heliem
Ano/Ne

Ano

Procesní dutina obložení
Ano/Ne

Ano

Ovládání teploty dutých stěn
Ne/Položka místnosti~60/120°C

Pokojová teplota-60/120°C

Kontrolní systém
Auto/vlastní


Leptací materiál
Na bázi křemíku: Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Magnetické materiály/slitiny
Kovový materiál: Ni/Cr/Al/Au. 
Organický materiál: PR/PMMA/HDMS/Organický film. 

Na bázi křemíku: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Magnetické materiály/slitiny
Kovový materiál: Ni/Cr/A1/Au. 
Organický materiál: PR/PMMA/HDMS/organický film. 

1. Zabraňte odlétávání třísek
2. Minimální uzel, který lze zpracovat: 14nm:
3. Rychlost leptání Si2/SiNx: 50~150 nm/min;
4. Drsnost leptaného povrchu:5. Nosná pasivační vrstva, adhezní vrstva a zadní silikonové leptání;
6. Výběrový poměr Cu/Al:>50
7. Vše v jednom stroji DxŠxV: 1300mmX750mmX950mm
8. Podpora spouštění jedním kliknutím
Výsledek procesu

Leptání materiálu na bázi křemíku

Materiály na bázi křemíku, vzory nanotisků, pole
vzory a leptání vzorů čoček
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Továrna na analýzu poruch

InP leptání za normální teploty

Leptání vzorů zařízení na bázi InP používaných v optické komunikaci, včetně struktury vlnovodu, struktury rezonanční dutiny.
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Dodavatel analýzy poruch

Leptání materiálu SiC

Vhodné pro mikrovlnná zařízení, elektrická zařízení atd.


Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Analýza selhání

Fyzikální naprašování, leptání Organické materiálové leptání

Používá se k leptání obtížně leptatelných materiálů, jako jsou některé kovy (jako je Ni/Cr) a keramika.
vzorovaný tching.
Používá se pro leptání a odstraňování organických sloučenin, jako je fotorezist (PR)/PMMA/HDMS/polymer
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Továrna na analýzu poruch
Zobrazení výsledků analýzy poruch
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Výroba analýzy poruch
Podrobnosti o produktu 
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Analýza selhání
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Výroba analýzy poruch
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Dodavatel analýzy poruch
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Továrna na analýzu poruch
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Výroba analýzy poruch
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Továrna na analýzu poruch
Balení a dodání 
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Továrna na analýzu poruch
Systém reaktivního iontového leptání Stroj RIE RIE Analýza selhání
pájecí stroj
Profil společnosti

Stroj Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) je nejmodernější technologií, která dokáže leptat a analyzovat různé typy materiálů s neuvěřitelnou přesností. Tento stroj je navržen pro použití v různých průmyslových odvětvích, kde je pravidelně vyžadována mikrovýroba nebo leptání. Je vyrobena z vysoce kvalitních materiálů, díky kterým je odolná, spolehlivá a dokáže produkovat vynikající výsledky. 

 

Vybavený RF plazmovým generátorem je efektivní. Systém RIE využívá indukční spojku k získání plazmy z přiváděného benzínu. Tato technika vytváří plazmu s vysokou hustotou, která zvyšuje rychlost leptání související s produktem. Proces leptání stroje RIE je efektivní, přesný a vysoce ovladatelný, což umožňuje dosáhnout specifické hloubky. Tato funkce je jedinečná a je skvělou volbou pro výzkum nebo průmyslové práce. 

 

Stroj má široký sortiment, včetně mikroelektroniky, výroby MEMS a výroby polovodičů. Tento stroj hraje důležitou roli při leptání a mikroobrábění polovodičových materiálů, jako je křemík, arsenid galia a germanium v ​​polovodičovém průmyslu. Zařízení Minder-High-tech RIE bylo navíc zavedeno v průmyslu MEMS pro výrobu měkkých a materiálů, které jsou tvrdé jako polyimid, oxid křemičitý a nitrid křemíku. Navíc je přístupný pro analýzu poruch v odvětvích souvisejících se službami a produkty, které jsou elektronické. 

 

Obsahuje různé funkce, které usnadňují používání. Je to software, který je uživatelsky přívětivý a poskytuje obsluze úplnou kontrolu nad parametry leptání využívanými v zařízení. Nastavení stroje se ukládají do jeho interní paměti, do které lze uložit více než 100 sad nastavení. Dotyková obrazovka umožňuje operátorovi nastavit parametry, jako je pohyb plynu, tloušťka výkonu a tlak. Stroj Minder-High-tech RIE má také funkci regulace teploty, která zajišťuje leptání materiálů při správné teplotě a zabraňuje jejich poškození. 

 

Ideální pro společnosti, které vyžadují spolehlivý a výkonný stroj, mohou poskytovat přesné a přesné výsledky. Toto zařízení bylo navrženo pomocí špičkové technologie a úrovně je hodně. Jeho všestrannost a uživatelsky přívětivé funkce z něj dělají velmi dobrou volbu pro výzkum a průmyslové aplikace v různých odvětvích. 

 

Má také účinný systém analýzy poruch, který umožňuje stroji co nejdříve detekovat a opravit jakékoli mechanické problémy. Tento systém zajišťuje, že si stroj RIE zachová vysokou kvalitu a spolehlivost po celou dobu svého životního cyklu. Pro jakékoli odvětví, které vyžaduje přesné a účinné leptání nebo mikrovýrobu, je stroj Minder-High-tech RIE dokonalým řešením.


dotaz

dotaz Email WhatsApp WeChat
Vrchní část
×

Ozvěte se nám