Plazmový zdroj
|
RF
|
||
Napájení
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(option)
|
||
Obor použití
|
4~8 inch
|
||
Počet jednotlivých zpracovávaných plátků
|
1
|
||
Rozměry vnějšího vzhledu
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Systémové řízení
|
PLC
|
||
Úroveň automatizace
|
Příručka
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved