Výrobní zařízení pro polovodiče MDLB-MC200 čistička fotomasky , China Výrobní zařízení pro polovodiče MDLB-MC200 čistička fotomasky Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Fotomaska čistič

Čistící jednotka:

Komora pro čištění je zpracována korozivně odolnými materiály, které mají hladkou povrch a jsou snadno čistitelné. Na spodní části vnitřní dutiny je umístěn vývod odpadu, který využívá gravitace k odtoku tekutin do vývodového potrubí továrny. Uvnitř dutiny je také sání, které může efektivně odstraňovat vzduch z dutiny. Je vybavena 3 automatickými otáčivými rameny, která umožňují automatizované čištění.

Tabulka konfiguračních parametrů:

Žádný.	Projekt	Specifikace	Výše uvedené
1	Přehled zařízení	Název zařízení: Čistič fotomasek
		Model zařízení: MDLB-MC200
		Celkové rozměry (přibližně): 1300mm (Š) * 1000mm (H) * 1950mm (V)
		Hmotnost celého zařízení (přibližně): 300KG
		Výška pracovní desky: 900 ± 50mm
		Specifikace rozměrů substrátu: vhodné pro čtvercové masky velikosti 2/4/5/6/8 palců
		Technologický postup: ruční umístění wafere → čištění (štětec, čisticí prostředek → vysokotlaká voda → megasonická voda → deionizovaná voda → sušení dusíkovým plynem) → ruční odebrání waferu
		Typ zařízení: poloautomatické, ruční nahrávání a vylučování
2	Konstrukce zařízení	Obal: nerdzavějící ocel, hladký, odolný proti korozi, snadno čistitelný
		Čistící komora: PP, hladká, odolná proti korozi, snadno čistitelná
		Potrubí: používá se potrubí z materiálu PU/PFA
		Osazení pracovního prostoru: protikorozní žluté světelné osvětlení
		Způsob otvírání dveří: dvojitá dvířka s funkcí upozornění při otevření
		Dotyková obrazovka: 10palcová barevná dotyková obrazovka * 1
		FFU: Třída 100
		Podpora proti úniku: dostupná
3	Vysokorychlostní servomotor	Množství: 1
		Rychlost: -3000~3000 ot/min	Prázdný běh
		Maximální zrychlení rotace vývrtky: 3000ot/s	Prázdný běh
		Přesnost rychlosti: ± 1ot/min (50ot/min~3000ot/min)
		Rozlišení rychlosti: 1ot/min
4	Automatické rameno	Množství: 3
4	Automatické rameno	Rychlost ramena: 1~30 °/s
5	Čisticí jednotka	Čisticí rameno: 1 kanál deionizované vody, 1 kanál dusíku Megasonický rameno: 1 megasonik, 1 vysokotlaká voda Štětecové rameno: 1 štětec, 1 voda, 1 čisticí roztok
		Metoda čištění: automatické čištění
		Funkce vysávání destilované vody: dostupná
		Oprchlívání (destilovaná voda): 1 trasa
		Způsob dodávky: Čisticí roztok: Membránový pumpa Destilovaná voda: dodává se přímo od závodu
		Tlaková nádrž s detekcí úrovně kapaliny
6	Čistící štětec	Množství: 1 (s funkcí samočištění)
		Rychlost: až 1000 ot/min, přizpůsobitelná rychlost
		Výška ručně přizpůsobitelná
7	Nádobí pro náklad	Množství: 5
		Materiál: PPS+kovina (nerdzidlo)
		Velikost: vhodné pro čtvercové maskovací desky o velikosti 2/4/5/6/8 palců
		Metoda pevného zakotvení substrátu: Metoda drápku na pevné zakotvení
8	Řídicí systém	Řídící systém: používá se PLC řízení
		Program: 100 skupin, každá skupina tvořená 100 kroky, s maximálním časem jednoho kroku 3000.0 sekund Resoluce: 0.1S
		Program lze uložit, volat, upravit a smazat
		Nastavení šifrovacích oprávnění: pro operátory zařízení, techniky, správce a výrobce respektive
		Typ signální věže: červená, žlutá, zelená 3 barvy