Zařízení pro průmysl polovodičů MDLB-MC200 Čistič fotomasky , Čína Zařízení pro průmysl polovodičů MDLB-MC200 Čistič fotomasky Výrobci, dodavatelé, továrna

MDLB-MC200

Čistič fotomasky

Čisticí jednotka:

Čistící komora je zpracována z korozivzdorných materiálů, které mají hladký povrch a snadno se čistí. Na dně vnitřní dutiny je otvor pro vypouštění odpadu, který využívá gravitaci k tomu, aby odpadní kapalina mohla být vypouštěna do odpadního potrubí továrny. Uvnitř dutiny je sací otvor, který dokáže včas odsát atmosféru z dutiny. Vybaveno 3 automatickými výkyvnými rameny, může dosáhnout automatického čištění.

Tabulka konfiguračních parametrů:

Ne.	Projekt	Specifikace	Poznámky
1	Přehled zařízení	Název zařízení: Photomask Cleaner
		Model vybavení: MDLB-MC200
		Celkové rozměry (přibližně): 1300 mm (Š) * 1000 mm (H) * 1950 mm (V)
		Hmotnost celého stroje (přibližně): 300 kg
		Výška operačního stolu: 900 ± 50 mm
		Specifikace velikosti substrátu: vhodné pro čtvercové maskovací desky 2/4/5/6/8 palce
		Průběh procesu: ruční umístění destičky → čištění (kartáč, čisticí roztok → vysokotlaká voda → megasonická voda → deionizovaná voda → sušení dusíkem) → ruční odstranění destičky
		Typ zařízení: poloautomatické, ruční nakládání a vykládání
2	Konstrukce zařízení	Plášť: nerezová ocel, hladká, odolná proti korozi, snadno se čistí
		Čistící komora: PP, hladká, odolná proti korozi, snadno se čistí
		Potrubí: Používá se odpovídající potrubí PU/PFA
		Pracovní osvětlení: antikorozní žluté světlo
		Styl otevírání dveří: Dvojité dveře s funkcí alarmu otevření dveří
		Dotyková obrazovka: 10palcová plnobarevná dotyková obrazovka * 1
		FFU: Třída 100
		Spodní podpěra odolná proti úniku: k dispozici
3	Vysoce přesný servomotor	Množství: 1
		Rychlost: -3000 ~ 3000 ot./min	Prázdný náklad
		Maximální zrychlení otáčení vřetena: 3000 ot./min	Prázdný náklad
		Přesnost rychlosti: ± 1 ot./min (50 ot./min. ~ 3000 ot./min.)
		Rozlišení rychlosti: 1 ot./min
4	Automatické výkyvné rameno	Množství: 3
4	Automatické výkyvné rameno	Rychlost otočného ramene: 1~30 °/S
5	Čistící jednotka	Čisticí výkyvné rameno: 1 kanál deionizované vody, 1 kanál plynného dusíku Megasonické rameno: 1 megasonic, 1 vysokotlaká voda Kartáčové rameno: 1 kartáč, 1 voda, 1 čisticí roztok
		Způsob čištění: automatické čištění
		Funkce odsávání deionizované vody: k dispozici
		Zpětný proplach (deionizovaná voda): 1 cesta
		Způsob dodávky: Čisticí roztok: Membránové čerpadlo Deionizovaná voda: dodává se přímo z továrny
		Tlaková nádrž s detekcí hladiny kapaliny
6	Kartáčový kartáč	Množství: 1 (s funkcí samočištění)
		Rychlost: až 1000 ot./min, nastavitelná rychlost
		Výška ručně nastavitelná
7	Vložte zásobník	Množství: 5
		Materiál: PPS+nerezová ocel
		Velikost: Vhodné pro čtvercové maskovací desky 2/4/5/6/8 palce
		Způsob upevnění podkladu: Způsob upevnění drápy
8	Kontrolní systém	Řídicí systém: pomocí řízení PLC
		Program: 100 skupin, každá skupina se skládá ze 100 kroků, s maximální dobou jednoho kroku 3000.0 sekund Rozlišení: 0.1S
		Program lze uložit, vyvolat, upravit a odstranit
		Nastavení oprávnění k šifrování: pro operátory zařízení, techniky, správce a výrobce
		Typ signální věže: červená, žlutá, zelená 3 barvy