Polovodičový průmysl Kazetový typ Batch plasma PR remover Photoresist Residual Removal , Čína Polovodičový průmysl Kazetový typ Batch plasma PR remover Photoresist Removal Removal Výrobci, dodavatelé, továrna

popis produktu

Kazetový typ Dávkový plazmový stroj pro odstraňování PR

DESCUM
Čištění oplatek
Odstranění zbytků lepidla po mokrém procesu
Odstraňování zbytků povrchu
Po expozici a vyvolání odstraňte zbytky lepidla

Polovodičový průmysl Kazetový typ Dávkový plazmový stroj na odstraňování PR Photoresist Residual Removal výroba

Proces

Polovodičový průmysl Kazetový typ Dávkový plazmový stroj na odstraňování PR Photoresist Residual Removal factory

Polovodičový průmysl Kazetový typ Dávkový plazmový stroj na odstraňování PR Podrobnosti o odstranění zbytků fotorezistu

Polovodičový průmysl Kazetový typ Dávkový plazmový stroj pro odstraňování PR Dodavatel fotorezistu Residual Removal

Výhoda:

Hlavní výhoda

Vysoká rychlost degumování: Plazma s vysokou hustotou, rychlá rychlost degumování
Stabilita: Po ošetření plazmou vysoká reprodukovatelnost
Vzdálená plazma: Vzdálená plazma, nízké iontové poškození plátku
Doporučený software: nezávislý výzkum a vývoj softwaru, intuitivní animace procesů, podrobná data a záznamy
Jednotnost: Plazma může řídit tlak a teplotu pomocí klapkového ventilu
Bezpečnostní faktor: Nízká plazma snižuje poškození vybíjením produktu.
Poprodejní servis: Rychlá reakce a dostatečné zásoby
Kontrola prachu: Splňujte požadavky zákazníků.
Základní technologie: S téměř 40 % členů týmu R&D

Kazetová platforma (MD-ST 6100/620)

1. 4 nosiče oplatek
2. Vysoká kompatibilita: flexibilita výběru velikosti plátku přináší vysoké náklady a efektivitu řešení
3. Vysoce stabilní vakuová přenosová komora:
Vyzrálá a stabilní konstrukce vakuové převodovky je na trhu vyspěle používána již mnoho let a zákazníci ji dobře uznávají.
Design gramofonu, kompaktní prostor, výrazně snižující riziko PARTICAL
4. Humanizované softwarové operační rozhraní:
Intuitivní humanizované rozhraní pro ovládání softwaru, sledování stavu běžícího stroje v reálném čase;
Komplexní funkce alarmu a zabezpečení proti chybám, aby se zabránilo chybné obsluze.
Výkonná funkce exportu dat, záznamů různých parametrů procesu a export záznamů o výrobě produktů.

Robot

1. Jednorázový duální výběr a umístění plátků přináší vysokou produktivitu
2. Zlepšete efektivitu prostoru.

Topná deska

1. Vysoce přesná destička s regulací teploty
Oplatková topná deska od pokojové teploty do 250°C, přesnost regulace teploty ±1°C
Topná deska na oplatky byla kalibrována profesionálními přístroji a jednotnost. V rozmezí ±3°C zajistěte rovnoměrné odstranění lepidla
2. Jednokomorové dvouvrstvé zpracování
Jednokomorový dvouplatkový design;
Nezávislý design vybíjení pro každý plátek, který zajišťuje, že každý plátek. Kulatý efekt odstranění PR;
Za předpokladu zajištění účinnosti UPH snižte náklady na produkt. Silná kompatibilita
3. Výrobní kapacita: dvoudílná konstrukční reakční komora, vysoká efektivita výroby.

Specifikace

PLAZMOVÝ zdroj	RF	MV
Výkon	1000w	1250w
Použitelný rozsah	4 ~ 8 palce	4~8寸
Počet jednotlivých řezů zpracování	4~6 palců = 50 kusů / 8 palců = 25 kusů	4~6 palců=50 kusů/8 palců=25 kusů
Rozměry vzhledu	1250x1630x1900mm	1250x1630x1900mm
Řízení systému	PC	PC
Úroveň automatizace	Auto	Auto

Možnosti hardwaru
Uptime/Dostupná doba	≧ 95%
Střední doba čištění (MTTC)	≦6 hodin
Střední doba opravy (MTTR)	≦4 hodin
Střední doba mezi poruchami (MTBF)	≧ 350 hodin
Střední doba mezi asistenty (MTBA)	≧ 24 hodin
Střední wafer mezi zlomenými (MWBB)	≦1 z 10,000 XNUMX plátků
Ovládání topné desky	50-250 °

Zkušební protokol

Factory View

Balení a dodání

Profil společnosti

Máme 16 let zkušeností s prodejem zařízení. Můžeme vám poskytnout jednorázové řešení Semiconductor frontend a back end Package Line Equipments z Číny!