Polovodičový průmysl Kazetový typ Dávkový odstraňovač plazmového PR off line stroj Photoresist Residual Removal , Čína Polovodičový průmysl Kazetový typ Dávkový plazmový PR odstraňovač off line stroj Výrobci, dodavatelé, továrna Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

popis produktu

Typ kazety Batch plasma Odstraňovač fotorezistu

DESCUM
Čištění oplatek
Odstranění zbytkového fotorezistu po mokrém procesu
Odstraňování zbytků povrchu
Po expozici a vyvolání odstraňte zbytkový fotorezist

Polovodičový průmysl Typ kazety Dávkový plazmový odstraňovač PR off-line stroj Zbytkový fotorezist Podrobnosti o odstranění

Proces

Polovodičový průmysl Typ kazety Dávkový plazmový odstraňovač PR off-line stroj Dodavatel odstranění zbytků fotorezistu

Polovodičový průmysl Typ kazety Dávkový plazmový odstraňovač PR off-line stroj Fotorezist Odstranění zbytků výroba

Polovodičový průmysl Typ kazety Dávkový plazmový odstraňovač PR off-line stroj Fotorezist Továrna na odstraňování zbytků

Výhoda:

Hlavní výhoda

Vysoká rychlost degumování: Plazma s vysokou hustotou, rychlá rychlost degumování
Stabilita: Po ošetření plazmou vysoká reprodukovatelnost
Vzdálená plazma: Vzdálená plazma, nízké iontové poškození plátku
Doporučený software: nezávislý výzkum a vývoj softwaru, intuitivní animace procesů, podrobná data a záznamy
Jednotnost: Plazma může řídit tlak a teplotu pomocí klapkového ventilu
Bezpečnostní faktor: Nízká plazma snižuje poškození vybíjením produktu.
Poprodejní servis: Rychlá reakce a dostatečné zásoby
Kontrola prachu: Splňujte požadavky zákazníků.
Základní technologie: S téměř 40 % členů týmu R&D

Kazetová platforma (MD-ST 6100/620)

1. 4 nosiče oplatek
2. Vysoká kompatibilita: flexibilita výběru velikosti plátku přináší vysoké náklady a efektivitu řešení
3. Vysoce stabilní vakuová přenosová komora:
Vyzrálá a stabilní konstrukce vakuové převodovky je na trhu vyspěle používána již mnoho let a zákazníci ji dobře uznávají.
Design gramofonu, kompaktní prostor, výrazně snižující riziko PARTICAL
4. Humanizované softwarové operační rozhraní:
Intuitivní humanizované rozhraní pro ovládání softwaru, sledování stavu běžícího stroje v reálném čase;
Komplexní funkce alarmu a zabezpečení proti chybám, aby se zabránilo chybné obsluze.
Výkonná funkce exportu dat, záznamů různých parametrů procesu a export záznamů o výrobě produktů.

Robot

1. Jednorázový duální výběr a umístění plátků přináší vysokou produktivitu
2. Zlepšete efektivitu prostoru.

Topná deska

1. Vysoce přesná destička s regulací teploty
Oplatková topná deska od pokojové teploty do 250°C, přesnost regulace teploty ±1°C
Topná deska na oplatky byla kalibrována profesionálními přístroji a jednotnost. V rozmezí ±3°C zajistěte rovnoměrné odstranění lepidla
2. Jednokomorové dvouvrstvé zpracování
Jednokomorový dvouplatkový design;
Nezávislý design vybíjení pro každý plátek, který zajišťuje, že každý plátek. Kulatý efekt odstranění PR;
Za předpokladu zajištění účinnosti UPH snižte náklady na produkt. Silná kompatibilita
3. Výrobní kapacita: dvoudílná konstrukční reakční komora, vysoká efektivita výroby.

Specifikace

PLAZMOVÝ zdroj	RF	MV
Výkon	1000w	1250w
Použitelný rozsah	4~8寸	4~8寸
Počet jednotlivých řezů zpracování	4-6 palců = 50 kusů/8 palců = 25 kusů	4-6 palců = 50 kusů/8 palců = 25 kusů
Rozměry vzhledu	1000x850x1700mm	1000x850x1700mm
Řízení systému	PC	PC
Úroveň automatizace	Manuál	Manuál

Možnosti hardwaru
Uptime/Dostupná doba	≧ 95%
Střední doba čištění (MTTC)	≦6 hodin
Střední doba opravy (MTTR)	≦4 hodin
Střední doba mezi poruchami (MTBF)	≧ 350 hodin
Střední doba mezi asistenty (MTBA)	≧ 24 hodin
Střední wafer mezi zlomenými (MWBB)	≦1 z 10,000 XNUMX plátků
Ovládání topné desky	50-250 °

Zkušební protokol

Factory View

Balení a dodání

Profil společnosti

Máme 16 let zkušeností s prodejem zařízení. Můžeme vám poskytnout jednorázové řešení Semiconductor frontend a back end Package Line Equipments z Číny!