Polovodičový průmysl Stroj na odstraňování zbytků PR typu zásobníku Photoresist Removal , Čína Polovodičový průmysl Stroj na odstraňování zbytkového PR typu zásobníku Photoresist Removal Výrobci, dodavatelé, továrna

popis produktu

Typ zásobníku Odstraňovač fotorezistu Stroj na odstraňování PR

DESCUM
Čištění oplatek
Odstranění zbytků lepidla po mokrém procesu
Odstraňování zbytků povrchu
Po expozici a vyvolání odstraňte zbytky lepidla

Polovodičový průmysl Typ podnosu PR stroj na odstranění Fotorezist Podrobnosti o odstranění zbytků

Proces

Průmysl polovodičů Typ zásobníku PR zařízení pro odstraňování zbytků Dodavatel fotorezistu

Polovodičový průmysl Typ zásobníku PR stroj na odstraňování zbytků Photoresist Residual Removal factory

Polovodičový průmysl Typ zásobníku PR stroj na odstraňování fotorezistu Výroba zbytkového odstranění

Výhoda:

Hlavní výhoda

Vysoká rychlost degumování: Plazma s vysokou hustotou, rychlá rychlost degumování
Stabilita: Po ošetření plazmou vysoká reprodukovatelnost
Vzdálená plazma: Vzdálená plazma, nízké iontové poškození plátku
Doporučený software: nezávislý výzkum a vývoj softwaru, intuitivní animace procesů, podrobná data a záznamy
Jednotnost: Plazma může řídit tlak a teplotu pomocí klapkového ventilu
Bezpečnostní faktor: Nízká plazma snižuje poškození vybíjením produktu.
Poprodejní servis: Rychlá reakce a dostatečné zásoby
Kontrola prachu: Splňujte požadavky zákazníků.
Základní technologie: S téměř 40 % členů týmu R&D

Kazetová platforma (MD-ST 6100/620)

1. 4 nosiče oplatek
2. Vysoká kompatibilita: flexibilita výběru velikosti plátku přináší vysoké náklady a efektivitu řešení
3. Vysoce stabilní vakuová přenosová komora:
Vyzrálá a stabilní konstrukce vakuové převodovky je na trhu vyspěle používána již mnoho let a zákazníci ji dobře uznávají.
Design gramofonu, kompaktní prostor, výrazně snižující riziko PARTICAL
4. Humanizované softwarové operační rozhraní:
Intuitivní humanizované rozhraní pro ovládání softwaru, sledování stavu běžícího stroje v reálném čase;
Komplexní funkce alarmu a zabezpečení proti chybám, aby se zabránilo chybné obsluze.
Výkonná funkce exportu dat, záznamů různých parametrů procesu a export záznamů o výrobě produktů.

Robot

1. Jednorázový duální výběr a umístění plátků přináší vysokou produktivitu
2. Zlepšete efektivitu prostoru.

Topná deska

1. Vysoce přesná destička s regulací teploty
Oplatková topná deska od pokojové teploty do 250°C, přesnost regulace teploty ±1°C
Topná deska na oplatky byla kalibrována profesionálními přístroji a jednotnost. V rozmezí ±3°C zajistěte rovnoměrné odstranění lepidla
2. Jednokomorové dvouvrstvé zpracování
Jednokomorový dvouplatkový design;
Nezávislý design vybíjení pro každý plátek, který zajišťuje, že každý plátek. Kulatý efekt odstranění PR;
Za předpokladu zajištění účinnosti UPH snižte náklady na produkt. Silná kompatibilita
3. Výrobní kapacita: dvoudílná konstrukční reakční komora, vysoká efektivita výroby.

Specifikace

PLAZMA			RF	RF
Výkon	ICP	1000w	1000w
Výkon		BIAS	600W (volitelně)	600W (volitelně)
Použitelný rozsah			4 ~ 8 palce	4 ~ 8 palce
Počet jednotlivých řezů zpracování			1	2
Rozměry vzhledu			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Řízení systému			Průmyslový kontrolní systém	Průmyslový kontrolní systém
Úroveň automatizace			automatický	automatický

Možnosti hardwaru
Uptime/Dostupná doba	≧ 95%
Střední doba čištění (MTTC)	≦6 hodin
Střední doba opravy (MTTR)	≦4 hodin
Střední doba mezi poruchami (MTBF)	≧ 350 hodin
Střední doba mezi asistenty (MTBA)	≧ 24 hodin
Střední wafer mezi zlomenými (MWBB)	≦1 z 10,000 XNUMX plátků
Ovládání topné desky	50-250 °

Zkušební protokol

Factory View

Balení a dodání

Profil společnosti

Máme 16 let zkušeností s prodejem zařízení. Můžeme vám poskytnout jednorázové řešení Semiconductor frontend a back end Package Line Equipments z Číny!