Plně automatický jednočipový čisticí stroj pro wafer Myčka waferů
Vlastnosti stroje
Jedna komora, dvě komory a čtyři komory Silná schopnost procesu, schopná podpořit aplikace jako Wafer Start a čištění procesu Dobrá konzistence mezi čipovou technologií zařízení
Oblasti použití
Odstraňování povrchových částic z křemenových a sloučeninových výrobků o velikosti 4-8 palců
Technické parametry
kamara s kartáčem o velikosti 4 palce, 6 palců, 8 palců Rychlost spinneru až 4000 ot/min Dvouramenná komora s kartáčem, dostupná v metodách Brush, AS, JET, Megasonics pro čištění Může podporovat funkci kapalného čištění
LoadPort jednotka, nákladní jednotka
LoadPort je nákladní jednotkou tohoto zařízení
Schopná provést Wafer Mapping Vybavena detekcí Wafer slide
Přenosová jednotka robota
Dvojitý ostří robot, volitelně s vakuumem nebo podnosovým typem ostří.
Jednotka pro zarovnání a otočení
Může zarovnat a nacházet ploché hrany Válec může být otočen, aby se mohl čistit zadní část krystalu
Čisticí jednotka
Počet čisticích ramen * 2 Držák válců: svorkový držák nebo s vysávacím systémem Češtík, režimy čištění AS, JET, Megasonics, podporující farmaceutické čištění
1. Podporuje současné vstupování a vystupování válců, stejně jako režimy A vstup a B výstup 2. Může podporovat čištění přední strany komory A a zadní strany komory B 3. Může podporovat současné čištění dvou komor
Popis štětčové jednotky
Jak je znázorněno na obrázku Válec pevně drží na horní části Spinneru
Rameno1&Rameno2 lze použít v kombinaci s různými metodami čištění popsané dříve pro čištění válců.
Po čištění se Spinner otáčí vysokou rychlostí, aby otočil a osušil vylep
Jednotka pro zarovnání a otočení
Válec lze použít pro bydlení a vyrovnávání
Válec lze převrátit
Rozměry zařízení: 160x150x220 (mm) Metody nahrávání a vybírání: stejně dovnitř a stejně ven&A dovnitř a B ven Počet čisticích jednotek: 2 Režimy čištění: Čištění kartáčem, AS, JET, Megasonics metody čištění, podpora farmaceutického čištění
Balení a dodání
Společenský profil
Často kladené otázky
1. O ceně: Všechny naše ceny jsou konkurenceschopné a vyjednávatelné. Cena se liší v závislosti na konfiguraci a složitosti přizpůsobení vašeho zařízení.
2. O vzorku: Můžeme vám poskytnout služby pro výrobu vzorků, ale můžete zaplatit nějaké poplatky.
3. O platbě: Po potvrzení plánu musíte nejprve zaplatit úvěrovou částku a továrna začne připravovat zboží. Po připravení zařízení a po zaplacení zbytku je odesláno.
4. O dodávce: Po dokončení výroby zařízení vám pošleme akceptační video a můžete také přijít na místo pro kontrolu zařízení.
5. Instalace a ladění: Po příjezdu zařízení do vaší továrny můžeme vydat inženýry na instalaci a ladění zařízení. Za tuto službu vám poskytneme samostatné cenové nabídky.
6. O záruce: Naše zařízení má záruku 12 měsíců. Po skončení období záruky, pokud je nějaká součást poškozena a je třeba ji nahradit, účtuji pouze cenu náhrady.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
