Technické parametry | Režim měření | PSI/VSI/super hloubka ostrosti/jasné pole |
Jedno měřící zorné pole (20× čočka objektivu) | 500*350μm (automatické šití) | |
Nastavení úhlu | ±12° manuální | |
Nastavení osy Z | 20 mm elektrický + 50 mm manuální (mechanismus hrubého a jemného nastavení) | |
Podélný rozsah skenování | 0-10mm | |
Podélné rozlišení | <0.2 nm | |
Opakovatelnost měření podélné drsnosti | 0.01 nm (režim PSI) | |
indikační chyba výšky kroku měření | <0.75 % (režim VSI) | |
Boční rozlišení: @550nm | 0.69 μm (20× čočka objektivu) | |
Měřitelná odrazivost vzorku | 0.1%-100% | |
Doba měření | <5s (režim PSI) | |
Analytická funkce | Analytická funkce | 3D měření výšky, 3D analýza drsnosti, 2D měření rozměrů |
3D výstup dat | Data 3D mračna bodů, obrazová data ve stupních šedi, přizpůsobená zpráva |
Objektivní zvětšení | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Numerická clona | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optické rozlišení @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Hloubka ostrosti (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Pracovní vzdálenost (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Všechna práva vyhrazena