Technický parametr |
Měřící režim |
PSI/VSI/super hloubka ostrosti/jasné pole |
Jednoduché měřicí pole pohledu (objektiv 20×) |
500*350μm (automatické šití) |
|
Nastavení úhlu |
±12° manuálně |
|
Nastavení osy Z |
20mm elektricky + 50mm manuálně (hrubé a jemné nastavení mechanismu) |
|
Rozsah longitudinálního skenování |
0-10 mm |
|
Longitudinální rozlišení |
<0.2nm |
|
Opakovatelnost měření longitudinální hrubosti |
0.01nm (režim PSI) |
|
indikační chyba výšky schodu měření |
<0.75% (režim VSI) |
|
Laterální rozlišení: @550nm |
0.69μm (objektiv 20×) |
|
Měřitelná reflexe vzorku |
0.1%-100% |
|
Měřící doba |
<5s (režim PSI) |
|
Analytická funkce |
Analytická funkce |
měření výšky v 3D, analýza hrubosti v 3D, měření rozměrů v 2D |
výstup dat v 3D |
data bodového mraku v 3D, data obrazu v odstínech šedi, přizpůsobený zpráva |
Zvětšení objektivu |
2.5x |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
Číselná clona |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optické rozlišení @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Hloubka ostrosti (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Pracovní vzdálenost (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved