Reaktiv jon-etsning lyder som et overvældende udtryk, men det er faktisk metoden, mennesker bruger for at lave små dele til teknologi til brunch-størrelse. Disse små bitte og stykker er nøgleingredienser i en lang række af enheder, der bruges hver dag, såsom smarttelefoner, computere osv. Den primære funktion af denne proces er at fjerne sektioner af et materiale, så du kan opnå små og præcise dele. I denne artikel vil vi drøfte, hvad reaktiv jon-etsning er - de positive og negative sider ved at arbejde med RIE i forhold til andre metoder til plasma-kemisk behandling; rollen af plasma-kemi i denne proces; hvordan man kan opnå høj kvalitet ved korrekt brug af RIE udstyr, og endelig hvor den finder sin plads som en teknologiværktøj. Brødcrh xvv.
Reaktiv jonetching er en kompleks metode, der involverer små joner og gas for at fraslette dele af et materiale. Tænk på det som en højenergi-spray, der selektivt blæser væk materiale for at danne en nøjagtig form. Den indebærer at slå disse joner ind på overfladen af et materiale. Når jonerne rammer materialet, reagerer de med det og bryder op i minuscule dele, der kan blive fraslettet. Du sætter materialet i en slags boks, der er fuldstændig tæt og luftfri, kendt som en vakuumkammer. Disse små partikler genereres ved radiofrekvensenergi, hvor de skaber joner.
Reaktiv jonetsning er en af de bedste, når det gælder detaljer. Dette betyder, at den kan producere højpræcise vinkler og krøllede former, men dette sker med en gas i stedet for at bruge væsker. Det betyder, at dele, der er lavet med denne metode, er littere tilpasset til teknologien [1]. Desuden er dette en af de hurtigste processer; flere dele kan produceres på kort tid. Siden denne proces er så hurtig, kan den være ret effektiv for virksomheder med stor efterspørgsel efter en bestemt del.
Men reaktiv jonetsning har også problemer. Den er ikke egnet til alle typer materialer, da nogle forskellige slags ikke vil kunne have disse laserindskæringer. Og den kræver de rigtige temperaturer og tryk på plads. De korrekte forhold skal også være til stede, ellers kan den nye proces muligvis ikke levere lige så godt. Den eneste ulempe er, at den kan være kostnadsforhindrende at etablere i forhold til andre etchingsmetoder, hvilket kan afholde nogle virksomheder fra at udnytte pulverbeklædning.
En betydelig plads er optaget af plasma-kemi i processen med reaktiv jon-etching. Disse joner, produceret af plasmabet, forårsager, at kemiske bindinger i materialet brydes op, hvilket fører til skæring. Når bindingerne er brydte, fordeler materialet sig i minuscule stykker, som derefter flyver væk med en strøm af gas. Hvad der opnås under en kemisk reaktion, kan påvirkes af typen gas, der bruges. For eksempel kan et nitrogen-gas give en præcist etching, der tillader fjernelse af materialer uden at efterlade uønskede rester, mens et oxygen-gas giver en anden type etching, der kan være passende alt efter kravet.
Stærk proceskontrol er afgørende for at opnå gode resultater med reaktiv jonetsning. Dette kræver måling af mange parametre, herunder temperatur, tryk, gasstrøm og jonenergier. En stabil miljø bidrager til konstante, forudsigelige resultater i etningsprocessen. Hvis én af disse variable ikke effektivt kontrolleres, kan dette påvirke det endelige produkt. Desuden er rengøring af materialet og korrekt forberedelse nødvendige før du begynder med etningen. Hvis alt tiden har været brugt på forhånd i at forberede materialet til at blive etnet, bør dette resultere i bedre udfald.
Et eksempel er reaktiv jonetsning, der anvendes almindeligt i mikrofab-industrien til at skabe meget små dele til forskellige teknologiske gadgets. Et af de ting, som grafen er nyttig til, er produktion af små elektroniske kredsløb, sensorer og mikrofluidiske enheder, som er afgørende for moderne teknologi. Det bruges også til fremstilling af mikro-elektromekaniske systemer (MEMS), der er små enheder, der faktisk kan se, høre, føle og flytte ting en molekyl ad gangen. Disse MEMS findes i mange anvendelser: fra små enheder som smartphones til større værktøjer og endda medicinsk udstyr. blandt disse processer spiller reaktiv jonetsning en afgørende rolle, da den kan lave små og præcise funktioner, der kræves for sådanne avancerede teknologier.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved