Minder-Hightech er en halvlederfabrikant. Halvledere er kritiske komponenter i meget af, hvad der gør det moderne liv muligt, såsom mobiltelefoner og computere. Nuvel, der er nogle trin involveret i at skabe halvledere, men det første trin er at skabe et mønster på en flade, kendt som en wafer.

For at fremstille dette mønster, aflejer vi et særligt materiale på wafflen. Dette stof kaldes photoresist. Når vi har lagt photoresistet ned, udsætter vi det for lys. Under lyset bliver en del af photoresistet hård og fast. De områder i skyggen forbliver bløde og kan slettes væk.

Efter at have opnået det ønskede mønster på wafflen, skal photoresistet fjernes fra de områder, hvor vi vil foretage yderligere bearbejdning. Her kommer Plasma Cleaner i spil, letterligt talt.

Plasma-baserede metoder til fjernelse af photoresist

Plasma er en tilstand af gas med et højt energiniveau, på grund af en høj elektrisk ladning, der anvendes på det. Og dette aktiverede gas er yderst nyttigt til at fjerne fotoresist fra overfladen af vaflet. Gennem plasma kan fotoresist blive brølende og rengøring af det bliver meget lettere.

Vi har to forskellige teknikker, der bruger plasma til fjernelse af fotoresist: tørre etching og ashing.

Tørre etching: I denne teknik interagerer det faktiske plasma med fotoresist. Plasmaet reagerer med fotoresisten, hvor de kommer i kontakt. Denne reaktion nedbryder fotoresisten og konverterer den til gas. Dette gassættede stof kan derefter blive rengjort fra vaflets overflade, hvilket resulterer i at områderne, vi kræver ren, bliver tilgængelige for fremskridt.

Ashing — Dette er en anden måde at gøre det på, i denne metode bruges ikke-reaktiv plasma til photoresist. Plasmaet knuser photoresisten i små stykker. Derefter kan disse små stykker vaskes af pladen. Denne metode er velegnet og beskytter pladen under fjernelsen af den ubrugte photoresist.

Brug af reaktivt plasma til fjernelse af photoresist

Plasmaoverfladbehandling er et meget kraftigt værktøj, der hjælper os med at fjerne den hårdnede photoresist fra pladen. Plasmaet er fantastisk på sin egen vis, men det bedste er, at vi kan gøre det til et super selektiv agent. Det betyder, at det kan justeres til kun at reagere specifikt med photoresisten, ikke med de andre materialer under den.

For eksempel: Hvis vi har et mønster på vaflet, hvor der er metal under fototektet, kan vi bruge en type plasma, der reagerer kun med fototektet. På denne måde kan vi grave væk fototektet uden at skade metallene under det. Dette er meget afgørende, da vi skal have alle dele af vaflet til at bevare sin integritet under processen.

Plasmateknikken til fjerning af fototekt

Minder-Hightech anvender moderne plasmateknologi til at fjerne fototektet fra vores vafle. Dette giver os mulighed for at fremstille fejlfrie halvledere af høj kvalitet.

Hurtig, justerbart til dine behov. Vores systemer er designet til at integrere seemløst i din arbejdsgang. Dette betyder, at vi kan fjerne fototektet hurtigt. Og fordi vi er hurtige, opfylder vi den fulde efterspørgsel fra vores kunder, ved at levere gode produkter, når de har brug for dem.

Men vores plasma-systemer er også meget nøjagtige, ud over deres effektivitet. Hvad denne præcision giver os, er muligheden for at fjerne udelukkende fotoresistancen selv. Vores teknologi forhindre, at alle andre dele af vaflet bliver skadede af vores proces, og vi kan ikke lede det. Denne systematiske praksis bliver endnu mere afgørende for kvaliteten af de halvledere, vi producerer.

Plasma-induceret fotoresistfjerning på halvledere

Kort sagt er plasma en superkraft, der gør det muligt at fjerne noget fotoresistens fra waferoverfladen på en meget effektiv måde. Vi ved Minder-Hightech anvender den nyeste og bedste plasma teknologi til at producere halvledere af nøjagtig nul defekt kvalitet. Når det gælder plasma systemer, er vores løsninger fremstillet for at afbalancere hastighed med nøjagtighed, samtidig med at de er meget effektive. Det betyder at kunne opfylde kundernes krav og levere kvalitetsprodukter uden fejl. Det håber at forbedre processen med halvledere som vi bruger plasmafjernelse teknologi, der gør vores halvledere så gode som muligt for alle slags elektroniske enheder at være pålidelige gadgets.