Danmark

Minder-Hightech er en halvlederproducent. Halvledere er kritiske komponenter i meget af det, der gør det moderne liv, såsom mobiltelefoner og computere. Nu er der et par trin i at skabe halvledere, men det første trin er at skabe et mønster på en flad overflade kendt som en wafer.

For at gengive dette mønster afsætter vi et specielt materiale på waferen. Dette stof er kendt som en fotoresist. Når vi har lagt fotoresisten fra os, udsætter vi den for lys. Under lyset hærdes et område af fotoresisten og gøres stærk. Områderne i skygge forbliver bløde og kan tørres væk.

Efter at have opnået det ønskede mønster på waferen, skal fotoresisten fjernes fra de områder, hvor vi vil udføre yderligere behandling. Det er her Plasma-renser kommer i spil, bogstaveligt talt.

Plasma-baserede metoder til fjernelse af fotoresist

Plasma er en gastilstand med et højt energiniveau på grund af en høj elektrisk ladning på den. Og denne aktiverede gas er yderst nyttig til at fjerne fotoresisten på waferoverfladen. Gennem plasma kan fotoresisten blive skør, og rengøringen bliver meget lettere.

Vi har to forskellige teknikker, der bruger plasma til fjernelse af fotoresist: tørætsning og askning.

Den tørre ætsning: I denne teknik er det faktiske plasma, der interagerer med fotoresisten. Plasmaet reagerer med fotoresisten, hvor det kommer i kontakt. Denne reaktion nedbryder fotoresisten og omdanner den til gas. Dette gasformige stof kan efterfølgende renses af waferoverfladen, hvilket resulterer i, at de områder, vi har brug for, blotlægges rene og tilgængelige for progression.

Asking — Dette er en anden måde at gøre det på, i denne metode bruges ikke-reaktivt plasma til fotoresisten. Plasmaet knuser i stedet fotoresisten i små, små stykker. Så kan disse små stykker vaskes af waferen. Denne fremgangsmåde er velegnet og beskytter waferen, mens den fjerner den unødvendige fotoresist.

Brug af reaktivt plasma til fotoresist-stripping

Plasma overfladebehandling er et meget kraftfuldt værktøj, som hjælper os med at fjerne den hårdeste fotoresist fra waferen. Plasma er utroligt i sig selv, men det bedste er, at vi kan gøre det til et superselektivt middel. Det betyder, at den kan indstilles til kun at reagere specifikt med fotoresisten, ikke med de andre materialer under den.

For eksempel: Hvis vi har et mønster på waferen, hvor metal er placeret under fotoresisten, kan vi bruge en type plasma, der kun reagerer med fotoresisten. Således kan vi ætse fotoresisten væk uden at skade metallet under det. Nu er dette meget kritisk, da vi har brug for alle dele af waferen for at bevare dens integritet under processen.

Plasmateknikken til afisolering af fotoresist

Minder-Hightech anvender ny tids plasmateknologi til at strippe fotoresisten fra vores wafers. Dette giver os mulighed for at fremstille fejlfrie halvledere, som er af høj kvalitet.

Hurtigt, kan justeres til dine behov Vores systemer er designet til at integreres problemfrit i din arbejdsgang. Dette indikerer, at vi kort sagt er i stand til at strippe fotoresisten. Og fordi vi er hurtige, imødekommer vi den fulde efterspørgsel fra vores kunder og leverer fantastiske produkter, når de har brug for dem.

Men vores plasmasystemer er også meget præcise, oven i deres effektivitet. Hvad denne præcision giver os, er evnen til udelukkende at fjerne selve fotoresisten. Vores teknologi forhindrer alle andre dele af waferen i at blive beskadiget af vores proces, og det har vi ikke råd til. Denne metodiske praksis bliver så meget desto mere afgørende for kvaliteten af ​​de halvledere, vi fremstiller derude.

Plasma-induceret fotoresistfjernelse på halvledere

Så kort sagt er plasma en superkraft, der gør os i stand til at fjerne noget fotoresist fra waferoverfladen på en yderst effektiv måde. Vi hos Minder-Hightech anvender den nyeste og bedste plasmateknologi til at producere præcis nul-defekte kvalitetshalvledere. Når det kommer til plasmasystemer, er vores løsninger fremstillet til at afbalancere hastigheden med nøjagtighed, mens de stadig er meget effektive. Det betyder at være i stand til at imødekomme vores kunders krav samt at levere kvalitetsprodukter uden fejl. Det er med til at forbedre processen med halvledere, som vi bruger plasma fjernelse teknologi, der gør vores halvledere så gode som muligt for alle slags elektroniske enheder til at være pålidelige gadgets.