1.MDAM-CMPA200 er et ideelt skurværk og poleringsystem til højproduktion af forskellige materialeplader (SiC, Safir, GaN, AlN...) komponenter, såsom filtermaterialer, wedge-materialer, LCD-paneler osv.
2.Fire motorstyrrede systemer og fire ekstra store poleringshoveder gør det muligt at polere op til 48 2" plader samtidig. Derfor er MP-serien maskine ideel til brug i en fuldproduktionsmiljø.
3.Maskinens automatiske kontrolpanel anvender en bærbar touchskærm til kontrol, og procesparametre kan indtastes og ændres frit.
4.Automatisk kontrol og intelligent indlæsnings/udlæsningsanordning kan hurtigt polere plader til epitaksi beredte overflader. Dette system er især nyttigt til håndtering af hårde substratmaterialer og kan også behandle plader op til 8" ø.
5.MDAM-CMPA200 præcisionsfræser og poleringsmaskine omfatter en værtsenhed, fjernbetjeningssystem, fixering, vakuumsystem, filler system, fræse- og poleringsdiscs mv.
6.MDAM-CMPA200 præcisionsfræser og poleringsmaskine, værtsenheden og alle erstatningsdele er lavet af højst korrosionsresistente materialer, hele maskinen er korrosionsresistant, og er egnet til kemisk mekanisk fræsing og polering af forskellige halvledermaterialer.
7.Gennem et uafhængigt fjernbetjeningssystem kan der også opnås flermaskinens fællesstyring. Gennem en styringsterminal kan flere fræse- og poleringsmaskiner kontrolleres, hvilket gør det nemt at ændre procesparametre undervejs. Det kan også opnå nøjagtig numerisk kontrol af flere processer samtidig, hvilket forbedrer arbejds-effektiviteten og procesnøjagtigheden betydeligt.
8.Den automatiske udfylningsanordning kan justere tråddrænethastigheden i overensstemmelse med forskellige proceskrav og slukke automatisk, når abrasivstoffet er brugt op, for at forhindre skader på prøven, når der ikke er abrasivstoff til stede.
9.Udstyrsstyringssystemet har en tidsfunktionsmulighed. Når den forudindstillede tid er nået, slukker systemet automatisk.