Wafer-størrelse
|
4”~ 8” plade
|
Pladetykkelse
|
100~750 mikroner
|
Pladetype
|
Si, SiC, GaN, eller andre materialer
|
Film type
|
Blå film, UV film
Bredde: 230 ~ 300 mm Længde: 100 m Tykkelse: 0.05 ~ 0.2 mm |
Wafer carrier ring
|
6”、8”DISCO
|
Metode for indlæsning og udlæsning
|
Manuel placering og fjernelse af wafer/carrier ring
|
Nøjagtighed ved filmpositionering
|
±0,5mm
Standard 6” og 8” wafer plader til 6” og 8” wafers |
Vakuumpumpe
|
Minder-Hightech
|
Antistatisk kontrol
|
Deioniseringsventilator
|
Styreenhed
|
Baseret på PLC-kontrol, med 10" touchskærm
|
Sikkerhedsbeskyttelse
|
Udstyret med lysgordindsskydd og nødstopknap
|
strømforsyningsspænding
|
Enkeltfased AC 220V, 16A
|
Komprimeret luft
|
0,45~0,6MPa, strøm 70L/min
|
Maskinhuse
|
Hvid plastbespruttede metalhuse
|
Volumen
|
850mm (bredde)*1750mm (dybde)*1970mm (højde)
|
Netto vægt
|
480 kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved