Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Forside
Om os
MH Equipment
Løsning
Brugere i udlandet
Video
Kontakt os
Hjem> MH Equipment> Slier- og poleringsmaskine
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning
  • Automatisk CMP Efterrensning

Automatisk CMP Efterrensning

Produktbeskrivelse

Rensningsudstyr efter Vafre Kemisk Mekanisk Polering

CMP Efter Chean

Maskinens egenskaber

Stærk proceskapacitet
Dual chamber børsting, med en bred række procesanvendelighed
Udstyret tager kun et lille område op, med dimensioner på 2200 * 800 * 2200 (mm)

Anvendelsesfelter

6-8 tommer CMP efter børsting
Rengøring efter fjering af SIC eller andre underlag

Tekniske parametre

Rengøring efter 4-pulles og 6-pulles CMP
To-kammerdesign, uafhængig kammeroperation Våd ind og tør ud eller tør ind og tør ud
Høj hastighed spin-tør SRD

LoadPort enhed, indlæsningsenhed

LoadPort er indlæsningsenheden på denne apparat
Våd kassetforsyning
Har spray-bevættningsfunktion

Børstenhed, Wafer-rengøringsenhed

To-kammerenhet, i stand til at understøtte to forskellige rengøringsløsninger
Børstenes position kan justeres i overensstemmelse med opskriften Belt Conveyor

SRD-enhed, Wafer tøringsenhed

Wafer klamps type spin-tøring, med en maksimal hastighed på 4000OMT
Kan udføre AS-rengøring på waferoverfladen og sprøjte DIW

UNLOAD-enhed, skæringseenhed

UnLoad-enheden har en uafhængig FFU for at sikre renskaben af waferudgangen

Båndtransportør

Vedvarende område er beltconveyor
Tør område til Robot-teleportation

Beskrivelse af børstenhed

Som vist i figuren til venstre består børstenheden på denne enhed af to børsteeenheder, nemlig BU1 BU2.
Børsten tryk på hver enhed kan justeres separat (som angivet i opskriften), og hver børstelameenhed kan vaskes med forskellige kemiske rengøringsløsninger separat.
Maskinens børste anvender PVA-børste, som er en almindelig type på markedet.
Overførslen mellem huller er skindbånd. Der er en DIW SPOELSE inden for hullet

SRD-enhed

SRD-enheten er udstyret med en fasthold CHUCK og en AS ARM, hvilket kan yderligere fysisk rengøre og centrifugere pladen tør.
Specifikation
Udstyrstørrelse:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Indlæsnings- og udlastningsmetoder
tørre ind/fuktig ind/tørre ud
Antal børstenheder
2
Antal SRD-enheder
1
Transportmetode
Ved vandzone bæltetransport, ved tørre zone robottransport
Størrelsen på udstyret med en børstekammer på 1 er 1850 * 800 * 2200
Pakning & Levering
Virksomhedsprofil
FAQ
1. Om Pris:
Alle vores priser er konkurrencedygtige og forhandlingsbar. Prisen varierer alt efter konfigurationen og graden af tilpasning af din enhed.

2. Om Sample:
Vi kan tilbyde eksempelproduktionstjenester, men du skal muligvis betale nogle gebyrer.

3. Om Betaling:
Når planen er bekræftet, skal du betale en depositum først, og fabrikken vil begynde at forberede varerne. Når
udstyret er klar, og du betaler resten, vil vi sende det ud.

4. Om Levering:
Når produktionen af udstyret er færdig, sender vi dig acceptancetest-videoen, og du kan også komme til lokationen for at inspicere udstyret.

5. Installation og Fejlsøgning:
Når udstyr ankommer på din fabrik, kan vi sende ingeniører ud for at installere og afstille udstyret. Vi vil give dig et separat tilbud for denne servicegebyr.

6. Om garanti:

Vores udstyr har en 12-måneder garanti periode. Efter garanti perioden, hvis nogen dele er skadede og skal erstattes, vil vi kun opkræve kostprisen.

Anmodning

Anmodning Email Whatsapp Top
×

KOM I KONTAKT