Slagbræt |
Størrelse |
Fjernet |
4,5,6,8 |
Vafelkasse |
Nummer |
- |
2 |
Rivemåde |
- |
Lodret dykningsslibningsmetode |
|
Slibningshjulsaksel |
Typer |
- |
Luftfedninger |
Mængde |
- |
2 |
|
Hastighed |
rpm |
0~5000 |
|
Udgangseffekt |
KW |
5,5/7,5 |
|
Strækning |
mm |
150 |
|
Fodrehastighed |
um/s |
0,01~100 |
|
Høj fart fremad |
mm/min |
300 |
|
Opløsning |
um |
0.1 |
|
Arbejdsstykkeakse |
TYPENAVN |
- |
Kuglelager |
Mængde |
- |
3 |
|
Sugkop type |
- |
Mikroporøs keramik |
|
Wafer sugmetode |
- |
Vacuumadsorption |
|
Hastighed |
rpm |
0~300 |
|
Waferoverførsel |
- |
Robotarm |
|
- |
Roterende disk |
||
Andre funktioner |
Wafercentrering |
- |
Mobil pinjustering |
Waferrensning |
- |
Vand- og luftrensning, spin-tørkning |
|
Rengøring af sugkop |
- |
Olpapirsrensning |
|
SLIBESKÅL |
mm |
φ200 |
|
ONLINE måling |
Målingsområde |
um |
0~1800 |
Opløsning |
um |
0.1 |
|
Gentagningsnøjagtighed |
um |
±0,5 |
|
Bearbejdning nøjagtighed |
Indre nøjagtighed på vafer (TTV) |
um |
≤ 2 |
Ytre nøjagtighed mellem vafre (WTW) |
um |
±3 |
|
Overflade rude (Ry) |
um |
0,13 (2000# afslutning) |
|
Udseende |
Udseende farve |
um |
Orangefarvet mønster |
Dimensioner(B×D×H) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Vægt |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved