Model |
MDTS-WT2200 |
Antal tyndskæringsakser |
2 |
Antal arbejdsborde |
3, Indexmetode |
Slibningshjulsaksel |
Antal luftspindle: 2 Spindelmotor: 7,5kW variabel frekvensmotor Hastighed: 0~6000rpm, trinløst justerbar Skræddansk specifikation: Φ203mm Skræddansk type: diamantskræddansk |
Skræddansksystem |
Mængde: 2 sæt Fodsystem kontrolmetode: LM vejrstykke og boldskrue kombineret Drejværk: servo motor Minimum fodhastighed: 0,1um/sec Maksimum fodhastighed: 50mm/sec |
ARBEJDSBORD |
Antal: 3, Index-tilstand Spindelmotor: Servo motor Hastighed: 0~300 omd./min., trinløst justerbar Adsorptionsmetode: Vakuumsorption |
Arbejdsbord drehplade |
Drevsmodus: servo motor Roteringsomfang: 0~240° Positioneringsform: sensorbaseret positionering |
Automatisk tykkelse målesystem |
Målemåde: IPG kontakt online i realtid Antal målehoveder: 2 Målesensor: 0,1um-niveau sensor |
Automatisk indlæsning/ udlæsningssystem |
Boks type: 6-8 tommer Cassette, 25 lag Metode for automatisk indlæsning/udlæsning: wafer manipulator bruges for at sikre transport af tynde wafers uden skade Plade tykkelse: 150um-1000um |
Arbejdsbord rensnings funktion |
Rensningsmetode: Oliepap polering & DI vand+luft to-liquid spoling |
Automatisk rensning/ tørringssystem |
Rensning: DIW dusnozzle renser Tørkemetode: Blæsning +tørkning Hastighed: max1000rpm trinløst justerbar |
Statisk eliminationssystem |
Ion bar eller Orion blæser |
Spindle køler |
Temperatur: 18-22°C Flow rate: 4~8L/min |
Kontrolsystem |
Styringssystem: PC-styringssystem, touchskærm med 3-farvealarmlys Kinesisk/engelsk brugergrænseflade |
Maksimal plade størrelse |
Maksimalt kompatibel med 8 tommer |
Hastighedsområde |
0~6000 OMDR./MIN. |
Z-akse rejsning |
160mm |
Z-aksen |
0,1~100um/sek |
Hastighed for hurtig retraktion på Z-akse |
50mm/sek |
Oppløsning på z-aksen |
0.1um |
Måleområde for online tykkelse |
0~1800um |
Online tykkelsemålingopløsning |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved