Leverer pålideligt RTP-udstyr til sammensatte halvledere, SlC, LED og MEMS
Anvendelse i industrien
* Silicide ligervarmebehandling * Oksidationsreturstrøm * Gallium arsenide proces * Andre hurtige varmebehandlingsprocesser
Specifikation
Prøvesedling
Sammenfald af 20. grads kurver
20 kurver for temperaturregulering ved 850 ℃
Sammenfald af 20 gennemsnitstemperaturkurver
Temperaturregulering på 1250 ℃
RTP-temperaturstyring 1000 ℃ proces
Proces på 960 ℃, reguleres af infrarød pyrometer
LED-procesdata
RTD Wafer er en temperatursensor, der bruger specielle bearbejdningsmetoder til at indlejre temperatursensorer (RTDs) på bestemte placeringer på overfladen af en vafer, hvilket gør det muligt at måle overfladetemperaturen på vafen i realtid.
De faktiske temperaturmålinger på bestemte placeringer på vafren og den generelle temperaturfordeling på vafren kan opnås gennem RTD Vafer; Den kan også bruges til kontinuerlig overvågning af midlertidige temperaturændringer på vafrene under varmebehandlingsprocessen.
Pakning & Levering
Virksomhedsprofil
Vi har 16 års erfaring inden for udstyrsforhandler. Vi kan levere en alt-i-en-løsning for Semiconductor frontend og back end Pakke Linje Udstyr fra Kina!
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
