struktur |
illustrer |
Eksponering af bordet |
Ekspositionsområde: bord, substratplaceringsområde |
Optisk system |
Laserudskrivningsområde |
Miljøkontrolsystem |
Kontroller indre temperatur og positiv tryk på apparatet |
Platform system |
Kontrollerer bevægelsen af belystingen for at fuldføre operationen af belystingsstien |
Kontrolsystem |
Kontrolsystem for hele udstyret |
Nej. |
Miljø |
Kræve |
1 |
Lyskilde miljø |
Gult lys |
2 |
Temperatur |
22℃±2℃ |
3 |
Fugtighed |
50%±10% |
4 |
Renlighed |
1000 |
5 |
CDA |
0,6±0,1Mpa, 200LPM, tør, ren luft |
6 |
Strømforsyning |
220~240V, 50/60Hz, 2,5KW; Jorden skal være jordet, |
7 |
Kølevand |
Temp.：10℃~ 20℃ Tryk：0.3MPa ~ 0.5MPa Strømrate：20L/min Trykforskel：0.3MPa eller mere Tager over kaliber：Rc3/8 |
8 |
Afholdelse |
niveau：±3mm/3000mm rystning：VC-B Bearing：750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Ét netværksport |
11 |
Maskinstørrelse |
1300*1100*2100mm |
12 |
Masse af anordningen |
1500 kg |
Nej. |
Projekt |
- Det er en speciel. |
Bemærkning |
1 |
Opløsning |
0.6um/eller andet krav |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Substrat tykkelse |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Dato raster nøjagtighed |
60nm |
|
5 |
Overlay |
±500nm |
130 mmx130 mm |
6 |
Sammensætningsnøjagtighed |
±200nm |
AZ703 |
7 |
MAX eksposeringsstørrelse |
190X190mm |
|
8 |
Gennemstrømning |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
lydkilde |
LD 375nm |
|
10 |
lys kraft |
6W |
|
11 |
Energijævnhed |
≥95 % |
|
12 |
lyslevetid |
10000timer |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
