Vakuum plasma værtsenhed(150) |
||
Udstyrsstørrelse |
L 1100×B 940×H 1755mm |
|
vægt |
600Kg |
|
Efterspørg strømforsyning |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjer, 25A (total åben type over C) |
|
Specifikation for plasmagenerator |
||
magt |
radiofrekvens |
mellemliggende frekvens |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
forsyningsfrekvens |
13.56MHz |
40 K Hz |
Vakuumsystem |
||
vakuumpumpe |
Leap monopol pumpe VSV 65 + Bowse Lots pumpe BSJ 70 |
|
vakuum rørledning |
Helt rustfrit stål linje, samt højstyrke vakuumbælge |
|
materialekvalitet |
alufer |
|
tykkelse |
25mm |
|
stramhed |
Svejseforsegling af militær kvalitet |
|
Indvendige dimensioner af hulrummet |
500*500*600 mm (Bredde* høj * dybde) |
|
Elektrisk plade effektiv størrelse |
372(W) X 451(D)mm |
|
Ledig pladsafstand |
24mm |
|
Elektroplade arrangement |
Vandret elektrodeplade |
|
bakker |
Standard sæt, materiale valgfrit (aluminium, ståltrådsnet) |
|
arbejdsplads |
8 lag |
|
Procesgas |
||
Flow rækkevidde |
0~300SCCM |
|
Procesgasgasrute |
Standard med to måder, kan tilpasses. Procesgasrørledningen er lavet af ferroflon |
|
Kontrolsystem |
||
SC |
PC-kontrol |
|
interaktiv tilstand |
Windows-grænseflade |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes