Vakuum plasma værtsenhed(150) | ||||
Udstyrsstørrelse | L 1100×B 940×H 1755mm | |||
vægt | 600Kg | |||
Efterspørg strømforsyning | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjer, 25A (total åben type over C) | |||
Specifikation for plasmagenerator | ||||
magt | radiofrekvens | mellemliggende frekvens | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
forsyningsfrekvens | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Vakuumsystem | ||||
vakuumpumpe | Leap monopol pumpe VSV 65 + Bowse Lots pumpe BSJ 70 | |||
vakuum rørledning | Helt rustfrit stål linje, samt højstyrke vakuumbælge | |||
materialekvalitet | alufer | |||
tykkelse | 25mm | |||
stramhed | Svejseforsegling af militær kvalitet | |||
Indvendige dimensioner af hulrummet | 500*500*600 mm (Bredde* høj * dybde) | |||
Elektrisk plade effektiv størrelse | 372(W) X 451(D)mm | |||
Ledig pladsafstand | 24mm | |||
Elektroplade arrangement | Vandret elektrodeplade | |||
bakker | Standard sæt, materiale valgfrit (aluminium, ståltrådsnet) | |||
arbejdsplads | 8 lag | |||
Procesgas | ||||
Flow rækkevidde | 0~300SCCM | |||
Procesgasgasrute | Standard med to måder, kan tilpasses. Procesgasrørledningen er lavet af ferroflon | |||
Kontrolsystem | ||||
SC | PC-kontrol | |||
interaktiv tilstand | Windows-grænseflade |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes