Vakuum plasma vært(200) |
||
Udstyrsstørrelse |
1050×1700×1050mm (bredde, højde og dybde) |
|
vægt |
800Kg |
|
efterspørge strøm |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Specifikationer for plasmageneratorer |
||
netstrøm |
radiofrekvens |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Strømfrekvens |
13.56MHz |
40 KHz |
Vakuumsystem |
||
vakuumpumpe |
Feiyue unipolær pumpe VSV100+Both Roots pumpe BSJ70 |
|
vakuum linje |
Alle rustfri stålrør og højstyrke vakuumbælge |
|
materiale |
Aluminium legering |
|
tykkelse |
25mm |
|
stramhed |
Svejset tætning af militær kvalitet |
|
Kavitets indre dimensioner |
600×600×600 mm (B×H×D) |
|
Effektiv størrelse af elektrodeplade |
472 X 451 mm (B×D) |
|
plads tilgængelig |
35mm |
|
Elektrodepladelayout |
Vandret elektrodeplade |
|
arbejdsbakke |
Et sæt er standard, og materialet er valgfrit (aluminium, stålnet) |
|
Arbejdsområde |
8 gulve |
|
Procesgas |
||
Flow rækkevidde |
0~300SCCM |
|
Procesgaskredsløb |
Udstyret med O2, Ar, N2 tre-vejs gas |
|
Kontrolsystem |
||
systemkontrol |
PC-kontrol |
|
interaktiv tilstand |
Windows-grænseflade |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes