Vakuumplassmaher (200) |
||
Udstyrsstørrelse |
1050×1700×1050mm(bredde, højde og dybde) |
|
Vægt |
800kg |
|
krævet strøm |
AC380V,50/60Hz,5tråde, 30A |
|
Plassagenerator Specificeringer |
||
netstrøm |
radiofrekvens |
hvis |
0~1000W |
0-2000W |
|
Styrkefrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
Vakuum system |
||
Vakuumpumpe |
Feiyue enkeltkantet pump VSV100+To Roots-pumper BSJ70 |
|
vacuumlinje |
Alle rostfrie stålrum, samt højst effektive vacuum bellows |
|
Materiale |
Aluminiumlegering |
|
Tykkelse |
25mm |
|
tæthed |
Hærskolegrads veldæmpet forsegling |
|
Indre dimensioner af hullen |
600×600×600mm(B×H×D) |
|
Effektiv størrelse af elektrodeplade |
472 X 451mm (B×D) |
|
rum til rådighed |
35mm |
|
Layout af elektrodplade |
Horisontal elektrodplade |
|
arbejdsbakke |
En sæt er standard, og materialet er valgfrit (aluminium, stålnet) |
|
arbejdsområde |
8 etager |
|
Procesgas |
||
flowområde |
0~300SCCM |
|
Procesgas kredsløb |
Udstyret med O2, Ar, N2 trevejsgas |
|
Kontrolsystem |
||
Systemkontrol |
PC kontrol |
|
interaktivt tilstand |
Windows-grænseflade |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved