Vakuumplassahærver (200) |
||||
Udstyrsstørrelse |
1050×1700×1050mm (bredde, højde og dybde) |
|||
vægt |
800kg |
|||
krævet strøm |
AC380V,50/60Hz,5tråde, 30A |
|||
Plassagenerator Specificeringer |
||||
netstrøm |
radiofrekvens |
Hvis |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Styrkefrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
||
Vakuum system |
||||
vakuumpumpe |
Feiyue enkeltkantet pump VSV100+To Roots-pumper BSJ70 |
|||
vacuumlinje |
Alle rostfrie stålrum, samt højst effektive vacuum bellows |
|||
materiale |
Aluminiumlegering |
|||
tykkelse |
25mm |
|||
tæthed |
Hærskolegrads veldæmpet forsegling |
|||
Indre dimensioner af hullen |
600×600×600mm(B×H×D) |
|||
Effektiv størrelse af elektrodeplade |
472 X 451mm (B×D) |
|||
rum til rådighed |
35mm |
|||
Layout af elektrodplade |
Horisontal elektrodplade |
|||
arbejdsbakke |
En sæt er standard, og materialet er valgfrit (aluminium, stålnet) |
|||
Arbejdsområde |
8 etager |
|||
Procesgas |
||||
Flowområde |
0~300SCCM |
|||
Procesgas kredsløb |
Udstyret med O2, Ar, N2 trevejsgas |
|||
Kontrolsystem |
||||
systemkontrol |
PC kontrol |
|||
interaktivt tilstand |
Windows-grænseflade |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved