Vakuumplasmavært(200) | ||||
Udstyrsstørrelse | 1050×1700×1050mm (bredde, højde og dybde) | |||
vægt | 800Kg | |||
efterspørge strøm | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Specifikationer for plasmageneratorer | ||||
netstrøm | radiofrekvens | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Strømfrekvens | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Vakuumsystem | ||||
vakuumpumpe | Feiyue unipolær pumpe VSV100+Both Roots pumpe BSJ70 | |||
vakuum linje | Alle rustfri stålrør og højstyrke vakuumbælge | |||
materiale | Aluminium legering | |||
tykkelse | 25mm | |||
stramhed | Svejset tætning af militær kvalitet | |||
Kavitets indre dimensioner | 600×600×600 mm (B×H×D) | |||
Effektiv størrelse af elektrodeplade | 472 X 451 mm (B×D) | |||
plads tilgængelig | 35mm | |||
Elektrodepladelayout | Vandret elektrodeplade | |||
arbejdsbakke | Et sæt er standard, og materialet er valgfrit (aluminium, stålnet) | |||
Arbejdsområde | 8 gulve | |||
Procesgas | ||||
Flow rækkevidde | 0~300SCCM | |||
Procesgaskredsløb | Udstyret med O2, Ar, N2 tre-vejs gas | |||
Kontrolsystem | ||||
systemkontrol | PC-kontrol | |||
interaktiv tilstand | Windows-grænseflade |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes